في عملية الطباعة بالليثوغرافيا، يؤدي أي اختلاف في درجة الحرارة، حتى لو كان نصف درجة مئوية، إلى اختلال في التحكم في الأبعاد الحرجة، ويظهر ذلك في شكل عيوب على سطح الرقاقة بعد عملية التطوير. يُعد مصباح التسخين بالأشعة تحت الحمراء ذو الأنبوبين الحل المثالي لمعالجة هذه المشكلة؛ فهو يوفر حرارة سريعة وموزعة بشكل متساوٍ، مما يضمن أداء الرقاقات بشكل مستقر من مرة إلى أخرى.
ما الذي يهم في النهاية؟
يعمل المصباح باستخدام عناصر أشعة تحت حمراء قصيرة الموجة، مما يوفر كثافة حرارية عالية واستجابة حرارية سريعة. يضمن المصباح توزيع الحرارة بشكل متساوٍ على الرقاقة، ضمن نطاق ±0.1 درجة مئوية، كما يحافظ على استقرار درجة الحرارة خلال عمليات التسخين المختلفة، دون أي اختلافات في درجة الحرارة. كما أن تصميم المصباح يضمن عدم تكون الجسيمات الضارة، مما يجعله مناسبًا للاستخدام في غرف نظيفة من الفئة 1 إلى 100. يظل أداء المصباح مستقرًا لأكثر من 5,000 ساعة، مع اختلاف في الشدة لا يتجاوز 5%， مما يقلل من الحاجة إلى عمليات المعايرة والتحكم في العملية.
الفوائد في عملية معالجة الرقاقات:
إن القدرة على التحكم في درجة الحرارة بشكل دقيق هي ما يضمن الحصول على نتائج مستقرة في عملية معالجة الرقاقات. يصل المصباح إلى درجة الحرارة المطلوبة بسرعة، مما يقلل من وقت العملية، كما يضمن استقرار درجة الحرارة داخل الغرفة، مما يقلل من الحاجة إلى إعادة العملية أو استخدام مواد زائدة. كما أن استخدام الطاقة في المصباح منخفض، لأن الحرارة تصل مباشرة إلى الهدف دون أي هدر، ويساعد طول مدة الاستخدام في تقليل الحاجة إلى قطع الغيار والصيانة. فيما يتعلق بخطوات تنظيف وتجفيف الرقاقات، فإن الدقة في التحكم في درجة الحرارة تضمن الحصول على سطح متجانس وزاوية اتصال مستقرة.
بعض الملاحظات العملية:
يتطلب تركيب المصباح دقة في التحكم البصري وتثبيته بشكل صحيح. إذا حدث أي خطأ، حتى ولو كان بسيطًا، فقد يؤدي ذلك إلى ظهور مناطق ساخنة على الرقاقة. عند تركيب المصباح، يجب مطابقة شكل المرآة مع شكل الغرفة، كما يجب التأكد من أن مصدر الطاقة ونظام التحكم في درجة الحرارة مناسبان للعملية. يجب التخطيط لفترة ارتفاع درجة الحرارة قبل الوصول إلى الحالة الثابتة، من أجل الحصول على أفضل النتائج.
نحن نصنع هذه المصابيح بحيث تلبي متطلبات تصنيع أشباه الموصلات. فهي توفر أداءً حراريًا مستقرًا، وعملية نظيفة، واستمرارية في العمل لفترات طويلة.