প্রথম বেকিং-এর সময়ই ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল নির্ধারণ করা হয়। ওয়েফারের তাপমাত্রায় ৫°C এর পার্থক্য থাকলে CD-এ ব্যতিচার ঘটে, ওভারলে প্রক্রিয়া নষ্ট হয়, আর বিলাসবহুল পুনর্কাজের প্রয়োজন হয়। এই অনিশ্চয়তা দূর করার জন্যই আমরা ইউনিফর্মিটি ফটোরেজিস্ট বেকিং ল্যাম্প তৈরি করেছি।
প্রযুক্তিগতভাবে কী গুরুত্বপূর্ণ?
আমরা ±0.1°C তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের জন্য রিফ্লেক্টর ক্যাভিটির মধ্যে শর্ট-ওয়েভ হ্যালোজেন ল্যাম্প ব্যবহার করি। ইন্টিগ্রেটেড পাইরোমেট্রির সাহায্যে মাইলিসেকেন্ডের মধ্যেই তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করা যায়। ল্যাম্পটি ক্লাস 1–100 ক্লিনরুমের জন্য উপযোগী; এতে কম গ্যাস নির্গত হয় এবং কোনো কণা উৎপন্ন হয় না। কার্বন-ফাইবার ইনসুলেশনের কারণে তাপ নিয়ন্ত্রণ করা সহজ হয়; আর কোয়ার্টজ আবরণটি বারবার তাপ পরিবর্তনের পরও টিকে থাকে। পূর্ণ কর্মক্ষমতার অবস্থায় ৫,০০০+ ঘণ্টা কাজ করা সম্ভব; তাপমাত্রায় ৫% এরও কম হ্রাস হয়।
কেন এটি কার্যকর?
এই যন্ত্রটি ওয়েফার শুকানো, ফটোরেজিস্ট বেকিং, প্যাকেজিং এবং পরিষ্কার করার কাজ একই যন্ত্র দিয়ে করা যায়। উচ্চ স্তরের ইউনিফর্মিটির কারণে ওয়েফারের কিনারায় কোনো সমস্যা দেখা দেয় না, ফলে উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে। দ্রুত তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণের কারণে বেকিং সময় কমে যায়; ফলে শক্তি সাশ্রয় হয় এবং উৎপাদন ক্ষমতা বাড়ে। তাপ নিয়ন্ত্রণ করার কারণে প্রক্রিয়ার সময়সীমা বাড়ে।
জানা দরকার যে…
ল্যাম্পটি স্ট্যান্ডার্ড ট্র্যাক ইন্টারফেসের সাথে সামঞ্জস্যপূর্ণ; কিন্তু রিফ্লেক্টরের আকৃতি অবশ্যই ওয়েফারের আকার ও চাকের আকৃতির সাথে মিলে যাওয়া উচিত। PID সেটিং এবং প্রক্রিয়ার বিভিন্ন পর্যায়ে তাপমাত্রা নিয়ন্ত্রণ করতে সামান্য সময় লাগে। কোয়ার্টজের সর্বোচ্চ তাপমাত্রার কাছাকাছি কাজ করলে ল্যাম্পটির জীবনকাল কমে যায়; তাই টেকসই কার্যকারিতার জন্য ৬৫০°C-এর নিচেই তাপমাত্রা রাখাই ভালো।