Nastavení správné teploty pomocí infračervených polovodičových ohřívačů
Pokud chcete snížit uhlíkovou stopu své továrny, je rozumné přejít na infračervené (IR) ohřívače. Místo ohřevu celé trouby a plýtvání energií na vzduch kolem waferů působí IR záření přímo na cíl.
Ale je tu jeden problém: nemůžete to jednoduše nastavit a zapomenout na to. Pokud jednáte bez přesné kontroly, poškodíte své wafery. Abychom skutečně dosáhli cílů v oblasti šetrné energetiky, aniž bychom museli vyhazovat drahý materiál, potřebujeme systém s termoelementy, který dokáže držet krok s intenzitou IR záření.
Problém s opožděním reakce
IR ohřívače se zahřívají neuvěřitelně rychle – opravdu velmi rychle. Pokud je termoelement pomalý na reakci, dosáhnete cílové teploty dříve, než si systém vůbec uvědomí situaci. Tím poškodíte substrát. Obvykle používáme termoelementy typu K nebo N, protože poskytují PID regulátorům data v reálném čase, která potřebují k udržení stabilní teploty. Když je systém dobře nastaven, ohřívače pobírají pouze tu energii, kterou skutečně potřebují. Je to jednodušší, efektivnější a pro planetu mnohem lepší.
Vyvážení parametrů
V čisté místnosti je kontaminace noční můrou. Abychom zabránili uvolňování plynů, používáme na senzorech chemicky inertní obaly. Dalším faktorem je velikost sondy – je to trochu kompromis. Silná sonda je odolná, ale reaguje pomalu. Obvykle preferujeme tenčí dráty, abychom zkrátili dobu reakce. Jen pozor při instalaci – sondy jsou křehké a je velmi snadné je poškodit, pokud nebudete opatrní.
Nalezení ideální polohy
Umístění těchto senzorů v infračerveném poli je opravdu náročné. Pokud je termoelement příliš daleko, měříte pouze vzduch – což je zbytečné. Ale pokud je příliš blízko, infračervené záření dopadne přímo na senzor, což způsobí odchylky v měřeních. Uvidíte teplotu, která je mnohem vyšší, než jaká ve skutečnosti panuje na waferu. Musíte najít tu správnou rovnováhu mezi senzorem a ohniskem lampy, abyste získali přesná měření. Vyžaduje to trpělivost a trochu kalibrace, ale je to jediný způsob, jak zajistit, aby vaše úspory energie nevedly ke snížení výnosů.