Ersetzung des Heizers von Lam Research: Präzise Spektralreinheit durch Infrarotwärme
Wir haben diese Infrarotheizlampe entwickelt, um eine direkte, leistungsstarke Alternative zum Original von Lam Research zu bieten. Die Idee ist einfach: Man erhält dieselbe Spektralqualität und dieselbe thermische Reaktion – ohne die hohen Preise des Originalprodukts. Wenn man für ein bestimmtes Wärmeprofil mehr bezahlen muss, erreicht diese Lampe denselben Leistungsstandard.
Leistung, Spannung und Abmessungen – Für Präzision konzipiert
Es handelt sich um einen Hochleistungsheizelement mit hoher Energiedichte, das speziell für Präzision entwickelt wurde. Es arbeitet bei 400 V und sorgt dafür, dass der Faden intensiv Wärme erzeugt – und das in kompakten Abmessungen.
Die Länge des Rohres beträgt 300 mm, die Leistung 2500 W. Diese Werte sind auf die Geometrie der Kammer abgestimmt. Dadurch wird sichergestellt, dass die Wärme gleichmäßig auf die Wafer oder Substrate verteilt wird – keine heißen oder kalten Stellen.
Diese hohe Leistungsdichte ermöglicht schnelle Temperaturänderungen. Gleichzeitig belastet sie das System jedoch stark. Der Kompromiss besteht darin, dass das Kühlsystem der Maschine in der Lage sein muss, die Wärme, die von dem 2500-W-Heizer erzeugt wird, zu bewältigen.
Materialien und Design: Halogen, Quarz und perfekte Passform
Im Zentrum befindet sich ein Kurzwellen-Infrarot-Halogenelement, das in einem Quarzrohr untergebracht ist. Die Halogenchemie sorgt dafür, dass der Faden stabil bleibt, Verfärbungen vermieden werden und die Spektralqualität über die gesamte Lebensdauer der Lampe konstant bleibt.
Das Quarzrohr bietet eine hervorragende Hitzebeständigkeit, sodass es auch schnellen Ein-/Ausschaltvorgängen standhalten kann, ohne zu reißen.
Der R7s-Anschluss ermöglicht eine einfache Anbindung der Lampe. Er übernimmt den Stromfluss und sichert die Lampe fest im Platz – somit handelt es sich um eine echte Ersatzlampe. Keine Neuverkabelung nötig, keine Umkonstruktionen.
Warum das wichtig ist: Präzision, Effizienz und einfache Installation
In der Halbleiterproduktion muss der Heizer eine wiederholbar präzise Spektralqualität liefern. Unsere Lampe entspricht genau den Spektraleigenschaften des Originalprodukts – dadurch bleiben die Prozessparameter genau dort, wo sie sein sollen.
Außerdem ist die Lampe für einen 24/7-Betrieb geeignet. Die Installation ist einfach: Das alte Gerät wird entfernt, das neue eingesetzt und anschließend angeschlossen. Die Stillstandszeiten verkürzen sich auf Minuten statt Stunden. Man erhält somit Leistungen von OEM-Qualität – zu einem Preis, der sich gut in das Budget für Wartungen einfügt.