Auf dem Fertigungsboden dreht sich beim Laser-Dicing alles um thermische Disziplin. Fehlt diese, entstehen Mikrorisse, der Schnittfugenkeil bläst aus und Nachbearbeitungsdefekte ruinieren Wafer, die Lithografie und Ätzen problemlos überstanden haben. Die Lösung ist kein provisorischer Flickenteppich – sondern ein speziell für den Dicing-Schritt entwickelter Support-Heizer, direkt dort, wo er gebraucht wird.
Was technisch tatsächlich zählt
Wir haben das Gerät um Kurzwelligen Infrarotstrahler (NIR) und einen quarzverstärkten thermischen Stapel aufgebaut, sodass eine ±0,1°C-Uniformität über den gesamten Wafer erreicht wird. Diese Stabilität steuert direkt das thermische Budget des Fotoresists während des Soft- und Hardbake, wodurch kritische Dimensionskontrolle und Kantenrauigkeit im Zielbereich bleiben. Das Gerät ist mit Reinraumklasse 1–100 kompatibel, und wir haben eine Null-Partikelbildung unter 0,1 μm bestätigt. Die Leistungsabgabe ist auf den 24/7-Betrieb kalibriert, die Wiederholgenauigkeit liegt bei maximal 0,2°C über Chargen, Schichten und Werkzeugwechsel hinweg.
Warum es im Laser-Dicing relevant ist
Dicing bedeutet thermischen Schock. Der Support-Heizer konditioniert den Wafer vor, wodurch thermische Gradienten, die zu Abplatzungen und Delaminationen entlang der Dicing-Linie führen, reduziert werden. Das Resultat ist eine höhere Ausbeute an Dies, weniger Nacharbeiten und eine stabile Durchsatzrate ohne Schwankungen. Die Leistung wird auf die thermische Masse der Trägerfolie und des Films abgestimmt, so dass keine Kilowatt verschwendet werden und der Sollwert konstant bleibt.
Der Gewinn besteht aus vorhersehbarer Schnittfugen-Geometrie, konsistenter Kantenqualität und Prozessfenstern, die von der Lithografie bis zur Verpackung stabil sind.
Hier die Praxiserfahrungen
Die Installation erfordert die Anpassung an die Chuck-Schnittstelle sowie die Überprüfung der NIR-Kompatibilität mit der vorhandenen Laseroptik und den Sicherheitsverriegelungen. Nach der vorbeugenden Wartung ist eine kurze thermische Einbrennkalibrierung notwendig, um die Uniformität wiederherzustellen. Der Heizer erfüllt die Spezifikationen sowohl unter Vakuum- als auch unter Atmosphärendruckbedingungen, allerdings verschiebt sich die thermische Reaktion je nach Trägertyp – beim Wechsel von Folien oder Rahmen ist ein einmaliges Rezept-Tuning einzuplanen.