حفظ تمیزی ویفرها در حین گرم کردن
اگر از اتاقهای پاکیزه کلاس ۱۰۰ استفاده میکنید، مطمئناً با این مشکل آشنا هستید: حتی یک ذره گرد و غبار یا مقدار کمی گاز، میتواند کل محصول تولید شده را خراب کند.
مشکل اینجاست که لامپهای معمولی IR اغلب از مواد چسبنده یا رزینهایی ساخته شدهاند؛ این مواد در اثر گرما ترک میخورند. بنابراین، ما از کوارتز سنتتیک با خلوص بالا برای ساخت لامپهایمان استفاده میکنیم؛ چون این ماده در برابر گرما مقاومت خوبی دارد.
راز، در خود کوارتز نهفته است
ما از پوششهای سیلیکا فرآوریشده با خلوص تقریباً صفر استفاده میکنیم. چرا؟ چون کوارتز با کیفیت پایین، در اثر گرما کدر میشود. با حذف مواد فلزی، مطمئن میشویم که لامپ در حین گرم کردن، هیچ ذره کوچکی روی ویفرها تولید نکند. در نتیجه، شما گرمای لازم را دریافت میکنید و ویفرهایتان تمیز باقی میمانند. خیلی ساده است.
یافتن فاصله مناسب بین لامپ و ویفر
تعیین فاصله مناسب بین لامپ و ویفر کاری دشوار است.
فاصله خیلی کم؟ مناطق گرمی ایجاد میشود که میتواند ویفرهای نازک را تخریب کند. فاصله خیلی زیاد؟ زمان گرم شدن لامپ طولانی میشود و بازدهی کاهش مییابد. برای رفع این مشکل، ما لامپهایی را طراحی کردهایم که انرژی خروجی دقیقی داشته باشند؛ بنابراین، حتی در فاصلههای بیشتر نیز، چگالی انرژی بالا باقی میماند.
نکاتی که باید در نظر گرفت
کوارتز با خلوص بالا از نظر شیمیایی بیاثر است، اما شکننده است. لطفاً، از دستان خود برای لمس این لامپها استفاده نکنید؛ چون روغنهای موجود در پوست، باعث ایجاد ترکهای کوچک در لامپ میشوند. وقتی لامپ تحت گرمای شدید قرار میگیرد، این ترکها به شکستگی تبدیل میشوند و لامپ خیلی زود از کار میافتد.
همین موضوع در مورد قطعات متصل به لامپ نیز صادق است؛ این قطعات باید بدون فشار باشند. اگر کوارتز را در یک قطعه سخت فشار دهید، لامپ در همان لحظه ترک خواهد خورد. بنابراین، باید فضای کافی برای لامپ فراهم کرد.
این لامپها برای جایگزینی آسان در خطوط تولید طراحی شدهاند؛ فقط مطمئن شوید که منبع تغذیه لامپ، ولتاژ مناسبی داشته باشد تا فیلامنت لامپ آسیب نبیند.