حفظ تمیزی اتاقهای پاک در صنعت نیمههادی: حقیقت درباره استفاده از کوارتز برای گرمایش
در اتاقهای پاک مربوط به صنعت نیمههادی، چیزی به نام «مقدار کمی گرد و غبار» وجود ندارد. اگر بخاری شما حتی یک میکرون ذرات را به بیرون دهد، در واقع ویفر مورد استفاده خراب خواهد شد. این موضوع بسیار ساده است.
دقیقاً به همین دلیل است که ما از شیشههای معمولی یا کوارتز ارزان قیمت برای بخاریهای خود استفاده نمیکنیم. این مواد نمیتوانند در برابر فشار حرارتی مقاومت کنند؛ آنها تخریب میشوند و باعث از بین رفتن کیفیت محصولات میشوند. ما از کوارتز با خلوص بالا استفاده میکنیم؛ زیرا این ماده واقعاً میتواند در برابر حرارت مقاومت کند.
چرا این روش را انتخاب کردیم؟
اکثر بخاریها از چسبها یا لایههای آلی برای ساخت خود استفاده میکنند؛ این مواد در چند بار استفاده اول از بین میروند. ما تمام این مواد را حذف کردهایم.
لامپهای ما از کوارتز با خلوص بالا ساخته شدهاند؛ بنابراین میتوانند در برابر تغییرات شدید دما مقاومت کنند. از آنجایی که ما از تابش مستقیم مادون قرمز استفاده میکنیم، انرژی مستقیماً به هدف میرسد؛ بدون هیچ واسطهای. این تنها روشی است که میتواند استانداردهای کلاس ۱۰۰ را برآورده کند.
جزئیات مهم:
این لامپها برای تولید گرما ساخته شدهاند؛ بنابراین میتوانند به سرعت گرم شوند. ما فیلامنت تنگستن را در محیط خلأ یا گازهای خنثی قرار میدهیم تا از اکسیداسیون و خرابی جلوگیری شود. بسته به نوع چیزی که میخواهید گرم کنید، میتوانید از تابش موج کوتاه یا موج متوسط استفاده کنید.
اما مشکل اینجاست که وقتی مقدار زیادی انرژی در فضای کوچکی تولید میشود، شرایط بسیار دشوار خواهد شد. اگر سیستم تهویه لامپ مناسب نباشد یا ضخامت منعکسکنندهها مناسب نباشد، لامپ خراب خواهد شد. مطمئن شوید که فنهای خنککننده لامپ قوی باشند تا بتوانند گرمای تولید شده را کنترل کنند؛ در غیر این صورت لامپ خراب خواهد شد.
نحوه استفاده از این لامپها:
ما این لامپها را به عنوان جایگزینهای قابل استفاده در لینهای تولیدی ساختهایم؛ بنابراین نیازی به سوزاندن سیمها یا تعمیرات دیگر نیست. این امر مانع ورود ذرات خارجی به منطقه پاک میشود.
این لامپها میتوانند به طور مداوم کار کنند؛ فقط یک قانون وجود دارد: هرگز از دستهای خالی به کوارتز دست نزنید. روغنهای موجود در پوست شما باعث ایجاد نقاط گرم میشوند؛ و این سریعترین راه برای خراب شدن لامپ است.