در مرحله اول، پروفایل فوتورزیست در حین فرآیند خشک کردن تنظیم میشود. تغییر دما به میزان ۵ درجه سانتیگراد در سطح ویفر، باعث اختلال در کیفیت تولید میشود؛ همچنین منجر به هدر رفتن منابع گرانقیمت برای تعمیرات میگردد. ما لامپهای خاصی را طراحی کردهایم تا این نوسانات را از بین ببرند.
نکات فنی مهم:
ما از لامپهای هالوژنی با أمواج کوتاه استفاده میکنیم؛ این لامپها در یک حفره بازتابنده قرار دارند و به این ترتیب امکان دستیابی به یکنواختی دمایی در سطح ویفر در محدوده ±۰٫۱ درجه سانتیگراد فراهم میشود. سیستم پیرومتری نیز به سرعت دما را کنترل کرده و امکان حفظ دمای مناسب در طول فرآیند را فراهم میکند. سر لامپ نیز با شرایط اتاقهای پاکسازی درجه ۱ تا ۱۰۰ سازگار است؛ همچنین از موادی استفاده شده که گاز کمی تولید میکنند و جرم ذرات نیز صفر است. عایقبندی از الیاف کربنی، باعث کاهش جرم حرارتی و تثبیت سریع دما میشود؛ همچنین پوشش کوارتزی لامپ نیز در برابر چرخههای حرارتی مکرر مقاومت میکند. انتظار میرود که این لامپ بتواند بیش از ۵۰۰۰ ساعت کار کند، با کاهش کمتر از ۵٪ در کارایی.
چرا این روش مؤثر است؟
این دستگاه، فرآیندهای خشک کردن ویفر، خشک کردن فوتورزیست، بستهبندی محصول و تمیزکاری را بدون نیاز به تغییر ابزارها انجام میدهد. یکنواختی دمایی بالا، باعث کاهش نوسانات در کیفیت تولید میشود؛ همچنین کاهش زمان فرآیند، مصرف انرژی را کاهش داده و باعث افزایش بهرهوری میشود. همچنین، با کنترل دقیق دما، پهنای پنجره فرآیند نیز افزایش مییابد.
نکاتی که باید بدانید:
این لامپ با رابطهای استاندارد سازگار است؛ اما هندسه بازتابنده باید متناسب با اندازه ویفر و پروفایل آن باشد. انتظار میرود که نیاز به تنظیمات کوتاهی برای تنظیم PID و تأیید دمای مناسب در نقاط مختلف فرآیند وجود داشته باشد. کارکرد لامپ در دماهای بالاتر از حد مجاز کوارتز، باعث کاهش عمر آن میشود؛ بنابراین توصیه میشود که دما در حدود ۶۵۰ درجه سانتیگراد نگه داشته شود تا قابلیت اطمینان لامپ حفظ شود.