Pourquoi votre processus de cuisson des wafers a besoin d’un réflecteur de meilleure qualité
Si vous continuez à utiliser la circulation d’air chaud pour le traitement des semi-conducteurs, vous avez certainement remarqué les temps morts dans votre processus de travail. Je parle de ce temps perdu pendant lequel on reste simplement là, à fixer le four, en attendant qu’il atteigne enfin la température idéale.
C’est une perte de temps. Or, dans ce secteur, le temps est tout.
Le passage au chauffage infrarouge change complètement la donne. Au lieu de chauffer tout un volume d’air, le chauffage infrarouge agit directement sur la surface du wafer. Pas de médiateur nécessaire. Pas d’attente que le vent souffle.
Mais voilà le problème : le chauffage infrarouge ne fonctionne que s’on dispose d’un bon réflecteur.
Réfléchissez-y : sans un revêtement en or ou en aluminium de haute qualité, la moitié de l’énergie consommée est simplement renvoyée vers le châssis de la machine. Ce n’est pas seulement inefficace, c’est aussi un gaspillage d’argent. Un réflecteur bien conçu permet de diriger cette énergie précisément là où se trouve le wafer.
La différence de vitesse est énorme.
On parle de secondes contre des minutes. En passant au chauffage infrarouge, on peut souvent réduire le temps de cuisson de 40 % à 70 %. De plus, l’espace requis diminue. On peut se passer de ces gros ventilateurs et de tous ces tuyaux isolants qui gênent le travail.
Bien sûr, ce n’est pas si simple que de remplacer un ventilateur par une lampe.
Le chauffage infrarouge est très exigeant. Il doit être dirigé avec précision. Si le réflecteur n’est pas positionné correctement, même de quelques degrés, cela provoquera des zones trop chaudes. Cela entraîne alors des déformations ou un chauffage inégal du wafer, ce qui est un vrai cauchemar pour le contrôle qualité.
Il faut également faire attention à la charge thermique. Les systèmes de chauffage infrarouge à haute puissance deviennent incroyablement chauds très rapidement. Si votre système de refroidissement n’est pas suffisamment efficace pour évacuer cette chaleur, vos composants électroniques risquent d’être endommagés.
C’est pourquoi nous passons tant de temps à optimiser la géométrie de surface du réflecteur. Il s’agit d’un équilibre délicat entre la puissance nécessaire et la distribution uniforme de la chaleur sur le wafer. Il s’agit de faire le travail rapidement, mais correctement.