फैब फ्लोर पर, फोटोरेजिस्ट को गर्म करने की प्रक्रिया कोई “वार्म-अप” चरण नहीं है; बल्कि यह वह तापीय चरण है जिसके द्वारा वाइंडथ नियंत्रित किया जाता है। 0.5°C का अंतर भी डोज विंडो में परिवर्तन ला सकता है। यदि तापमान समान न हो, तो वेफर की सतह पर तिरछी रेखाएँ बन जाती हैं, जिसके कारण बाद में समस्याएँ उत्पन्न होती हैं। हमने इसी समस्या को ध्यान में रखकर उच्च-तापमान वाली थर्मल टेप प्रणाली विकसित की है – ताकि वेफर को पूरी सतह पर लक्षित तापमान पर ही रखा जा सके, और ऐसा घंटों तक बिना किसी विचलन के किया जा सके।
तकनीकी दृष्टि से महत्वपूर्ण बातें
हम शॉर्ट-वेव इन्फ्रारेड (NIR) ऊष्मा का उपयोग करते हैं, साथ ही कम-थर्मल-मास वाली टेप फिक्स्चरों का उपयोग भी करते हैं। इससे वेफर की सतह पर तापमान स्थिर रहता है, और यह ±0.1°C की सीमा में ही रहता है। आप 3°C/सेकंड की दर से तापमान में परिवर्तन कर सकते हैं, जिससे पतली परतों को कोई नुकसान नहीं पहुँचता, एवं ऊष्मा-संबंधी समस्याएँ भी नहीं होतीं। यह टेप उच्च-तापमान में भी स्थिर रहता है, एवं क्लास 1–100 वाले वातावरण में भी कोई कण नहीं उत्पन्न करता। विभिन्न मशीनों में भी तापमान स्थिर रहता है, इसलिए प्रक्रिया में कोई विचलन नहीं होता।
लिथोग्राफी प्रक्रियाओं में, हर शिफ्ट, हर लॉट, हर मशीन में तापमान स्थिर रहना आवश्यक है। यह टेप प्रणाली वेफर एवं हॉट प्लेट के बीच के संपर्क को स्थिर रखती है; इससे परावर्तन संबंधी समस्याएँ कम हो जाती हैं। इसका परिणाम यह है कि CD वितरण बेहतर हो जाता है, डेवलपमेंट प्रक्रिया के बाद दोबारा काम करने की आवश्यकता कम हो जाती है, एवं किनारों पर बची हुई परतों के कारण होने वाला कचरा भी कम हो जाता है।
ऊर्जा एवं उपकरणों के उपयोग के मामले में भी यह प्रणाली लाभदायक है। NIR ऊर्जा केवल लक्षित क्षेत्र में ही उपयोग होती है, इसलिए ऊर्जा की खपत कम हो जाती है। जब उपकरणों को बदलने की आवश्यकता होती है, तो यह प्रक्रिया आसान एवं पूर्वानुमानित होती है – कोई आश्चर्य नहीं, कोई अप्रत्याशित रुकावट नहीं।
कुछ बातें ध्यान में रखने योग्य हैं… यह टेप मानक फोटोरेजिस्ट एवं विलायकों के साथ अच्छी तरह काम करता है; लेकिन कुछ विशेष रसायनों के संपर्क में यह संवेदनशील हो सकता है। इसलिए, बड़े पैमाने पर इसका उपयोग करने से पहले इसकी जाँच आवश्यक है।
इसकी स्थापना के लिए वेफर की ज्यामिति एवं उसकी पिछली सतह की विकिरण-क्षमता को ध्यान में रखना आवश्यक है। हम सामान्य प्लेटफॉर्मों के लिए कैलिब्रेशन विधियाँ भी प्रदान करते हैं, ताकि शुरुआत से ही ±0.1°C की सीमा में ही तापमान स्थिर रह सके।