लैम रिसर्च हीटर का प्रतिस्थापन: इन्फ्रारेड तापन तकनीक के माध्यम से उच्च गुणवत्ता वाला तापन
हमने इस इन्फ्रारेड हीटिंग लैंप को लैम रिसर्च के मूल उत्पाद का एक बेहतर विकल्प के रूप में विकसित किया है। इसका उद्देश्य सरल है – उसी तरह का स्पेक्ट्रल आउटपुट एवं ऊष्मा-प्रतिक्रिया प्रदान करना, लेकिन OEM उत्पादों की तुलना में कम लागत में। यदि आप किसी विशेष तापन-प्रोफ़ाइल के लिए अधिक भुगतान कर रहे हैं, तो यह उत्पाद वही मानक प्रदान करता है।
शक्ति, वोल्टेज एवं आयाम – सटीकता हेतु डिज़ाइन
यह एक उच्च-घनत्व वाला हीटिंग तत्व है; इसका डिज़ाइन सटीकता हेतु ही किया गया है। यह 400V वोल्टेज पर काम करता है, जिससे फिलामेंट से तीव्र ऊष्मा उत्पन्न होती है। 300 मिमी लंबाई एवं 2500 वाट की शक्ति, चेम्बर की आकृति के अनुरूप है। इसके कारण ऊष्मा समान रूप से वेफर/सब्सट्रेट पर फैलती है – न तो कोई गर्म बिंदु, न ही ठंडा बिंदु।
यही उच्च ऊर्जा-घनत्व ही तेज़ ऊष्मा-प्रवाह को संभव बनाता है। लेकिन इससे सिस्टम पर दबाव भी पड़ता है। इसका समाधान यह है कि मशीन की कूलिंग प्रणाली 2500 वाट के भार को संभाल सके।
सामग्री एवं डिज़ाइन – हैलोजन, क्वार्ट्ज, एवं आसान स्थापना
इसके केंद्र में एक शॉर्टवेव इन्फ्रारेड हैलोजन तत्व है; यह क्वार्ट्ज ट्यूब के अंदर ही स्थित है। हैलोजन रसायन फिलामेंट को स्थिर रखता है, जिससे लैंप की आयु के दौरान स्पेक्ट्रल आउटपुट स्थिर रहता है।
क्वार्ट्ज ट्यूब का उपयोग उच्च तापमान-प्रतिरोध हेतु किया गया है; इसलिए यह तेज़ ऑन/ऑफ साइकिलिंग को भी संभाल सकता है।
R7s कनेक्टर भी ऐसा ही है – यह धारा-प्रवाह को संभालता है, एवं लैंप को सही जगह पर रखता है। इसलिए इसे बिना किसी पुनः-वायरिंग/पुनः-डिज़ाइन के ही उपयोग में लाया जा सकता है।
यह क्यों महत्वपूर्ण है? – सटीकता, दक्षता, एवं आसान स्थापना
सेमीकंडक्टर उत्पादन में हीटर को निरंतर उच्च गुणवत्ता वाला तापन प्रदान करना होता है। हमारा लैंप मूल उत्पाद की ही विशेषताओं को पूरा करता है; इसलिए आपके प्रक्रिया-पैरामीटर वैसे ही रहते हैं जैसे आप चाहते हैं।
यह 24/7 उत्पादन हेतु भी उपयुक्त है।
स्थापना भी बहुत ही आसान है – पुराने लैंप को हटाकर नया लैंप लगाना ही पर्याप्त है। डाउनटाइम कुछ ही मिनटों में समाप्त हो जाता है। आपको OEM-गुणवत्ता वाला तापन प्रदर्शन मिलता है, एवं इसकी लागत भी आपके रखरखाव-बजट के अनुरूप है।