जब वेफर को ही गर्म किया जा सकता है, तो हवा को गर्म करने की क्या आवश्यकता है?
अधिकांश सेमीकंडक्टर उत्पादन प्रक्रियाओं में अभी भी फोर्स्ड एयर ओवनों का ही उपयोग किया जाता है। यह एक धीमी प्रक्रिया है… हवा को गर्म किया जाता है, फिर वह हवा कक्ष को गर्म करती है… और अंत में, यदि भाग्य अनुकूल रहे, तो ही वेफर गर्म हो पाता है। इसमें बहुत समय लग जाता है।
हम इन्फ्रारेड (IR) हीटरों का ही उपयोग करते हैं… क्योंकि ऐसे हीटरों में बीच का कोई मध्यस्थ ही नहीं होता।
समय ही सब कुछ है…
फोर्स्ड एयर ओवन धीमे ही काम करते हैं… जबकि इन्फ्रारेड हीटर विद्युत-चुम्बकीय विकिरण का उपयोग करके सीधे ही वेफर को गर्म करते हैं… पूरे कमरे को गर्म करने की आवश्यकता ही नहीं है।
इससे घंटों का समय कुछ मिनटों में ही बच जाता है… जब आप बड़े पैमाने पर उत्पादन कर रहे होते हैं, तो बेकिंग प्रक्रिया में 20 मिनट की बचत बहुत ही महत्वपूर्ण है… यह आपकी दैनिक उत्पादन क्षमता के लिए बहुत ही फायदेमंद है।
क्लीन रूम में समस्याएँ
यदि आपने कभी क्लीन रूम में समय बिताया है, तो आपको पता होगा कि हवा का प्रवाह वहाँ समस्या का कारण बनता है… पंखे धूल उड़ाते हैं… यह बहुत ही जटिल स्थिति है।
इन्फ्रारेड हीटरों में ऐसी कोई समस्या ही नहीं है… न कोई पंखे, न ही हवा का प्रवाह… वेफर पर कोई कण ही नहीं गिरते। चीजों को और भी साफ रखने हेतु हम क्वार्ट्ज एनवेलपमेंटों का ही उपयोग करते हैं… इससे आपको किसी भी तरह की समस्याओं की चिंता ही नहीं करनी पड़ती।
लेकिन…
इन्फ्रारेड हीटर भी कोई जादुई उपकरण नहीं है… यह दिशात्मक ही है… यदि आपके वेफरों पर गहरी खाँचें हैं, तो ऐसी स्थितियों में वेफर ठीक से गर्म नहीं हो पाता… आप बस इन्फ्रारेड लैंप को पुराने कन्वेक्शन ओवन में रखकर ही काम नहीं कर सकते… आपको अपने उष्मा-क्षेत्रों को ठीक से निर्धारित करना ही होगा।
इसके अलावा, उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड हीटरों से बहुत अधिक ऊर्जा उत्पन्न होती है… यदि आप कूलिंग सिस्टम को ठीक से नहीं रखते, तो वेफर खराब हो सकता है… इसलिए हम हमेशा PID कंट्रोलरों एवं त्वरित-प्रतिक्रिया वाले थर्मोकपलों का ही उपयोग करते हैं… इससे आपको अपने उद्देश्यों को पूरा करने में कोई समस्या ही नहीं होती।