आपके वेफरों के सुखाने हेतु बेहतर रिफ्लेक्टर क्यों आवश्यक है?
यदि आप अभी भी सेमीकंडक्टरों के प्रसंस्करण हेतु गर्म हवा का उपयोग कर रहे हैं, तो आपने निश्चय ही अपने कार्यप्रवाह में आने वाली बाधाओं को महसूस किया होगा। मैं “प्रतीक्षा का समय” की बात कर रहा हूँ… वह समय जिसमें आप बस वहीं खड़े रहते हैं, और फर्नेस के ठीक तापमान तक पहुँचने का इंतज़ार करते रहते हैं।
यह समय की बर्बादी है… और इस व्यवसाय में समय ही सब कुछ है।
इन्फ्रारेड ऊष्मा का उपयोग करने से स्थिति बदल जाती है। बड़े टैंकों में हवा को गर्म करने के बजाय, इन्फ्रारेड ऊष्मा सीधे वेफर की सतह पर पड़ती है… बिना किसी मध्यस्थ के… बिना प्रतीक्षा के।
लेकिन यहाँ एक समस्या है… इन्फ्रारेड ऊष्मा तभी काम करती है, जब आपके पास उच्च गुणवत्ता वाला रिफ्लेक्टर हो।
बिना उच्च गुणवत्ता वाली सोने/एल्यूमीनियम की परत के, आपकी महंगी ऊर्जा बेकार ही चली जाती है… यह न केवल अकुशलता है, बल्कि पैसों की भी बर्बादी है। एक उच्च गुणवत्ता वाला रिफ्लेक्टर उस ऊर्जा को सीधे वेफर पर ही भेजता है।
गति में बहुत अंतर होता है…
हम सेकंडों की बात कर रहे हैं… न कि मिनटों की। इन्फ्रारेड ऊष्मा का उपयोग करने से सुखाने की प्रक्रिया में 40% से 70% तक की बचत हो जाती है। इसके अलावा, आपको वे बड़े-बड़े ब्लोअर एवं इंसुलेटेड डक्ट भी हटाने पड़ते हैं… जो कि काम में बाधा बनते हैं।
बेशक, यह इतना आसान भी नहीं है… बस फैन को लैंप से बदलना ही काफी नहीं है।
इन्फ्रारेड ऊष्मा के लिए रिफ्लेक्टर की गुणवत्ता बहुत महत्वपूर्ण है… यदि रिफ्लेक्टर थोड़ा भी विक्षेपित हो जाए, तो वेफर पर गर्म बिंदु बन जाते हैं… जिससे वेफर विकृत हो जाता है… और गुणवत्ता नियंत्रण में समस्याएँ आ जाती हैं।
आपको ऊष्मा-भार पर भी ध्यान देना होगा… उच्च-वॉटेज वाले इन्फ्रारेड उपकरण बहुत जल्दी ही बहुत गर्म हो जाते हैं… यदि आपकी शीतलन प्रणाली उस ऊष्मा को नियंत्रित न कर पाए, तो आपके उपकरण नष्ट हो जाएंगे।
इसीलिए हम रिफ्लेक्टर की सतह-ज्यामिति पर बहुत ध्यान देते हैं… यह तो ऊर्जा को वेफर पर सही तरीके से वितरित करने का ही एक तरीका है… ताकि काम जल्दी एवं सही तरीके से हो सके।