
Berhentilah melawan kelembapan di jalur pembersihan wafer Anda
Sejujurnya, tahap pembersihan merupakan fase di mana pengelolaan suhu menjadi sangat sulit. Anda berusaha menghilangkan kelembapan secepat mungkin, tetapi Anda tidak boleh membiarkan wafer terkontaminasi. Ini merupakan situasi yang membutuhkan keseimbangan yang tepat, dan seringkali menyebabkan masalah.
Itulah sebabnya kami menggunakan lampu inframerah tahan air. Lampu-lampu ini bukanlah pemanas biasa. Kami merancangnya sedemikian rupa agar dapat bertahan dalam kondisi basah, sehingga tidak akan rusak akibat cairan yang tumpah atau kelembapan tinggi.
Mendapatkan data yang akurat
Jika Anda ingin memiliki “Fabrikasi Cerdas”, Anda tidak boleh terus bergantung pada thermostat tradisional. Alat-alat tersebut terlalu sederhana untuk digunakan dalam situasi seperti ini. Kami merancang sistem IR ini agar dapat berkomunikasi dengan perangkat digital Anda. Dengan menyesuaikan daya dan tegangan, Anda dapat mengetahui bagaimana panas tersebar di seluruh jalur pembersihan. Dengan demikian, PLC Anda akan mendapatkan data secara real-time. Anda akan tahu persis di mana suhu turun, sehingga Anda dapat menyesuaikan daya pemanasan sesuai kebutuhan.
Dirancang untuk menghadapi kondisi yang buruk
Kita semua tahu bahwa air dan listrik berkekuatan tinggi merupakan kombinasi yang berbahaya. Untuk menjaga keselamatan, kami menyegel setiap ujung lampu dan titik koneksi kabel agar kelembapan tidak masuk. Kami juga merawat lapisan kuarsa agar tidak kotor akibat endapan mineral dari air pembersih. Selain itu, kami menggunakan koneksi yang kuat, sehingga tidak akan rusak meski berada di tengah gas kimia sepanjang hari.
Masalahnya: Panas vs. Pendinginan
Lampu IR berkepadatan tinggi mampu menghasilkan energi yang besar dalam waktu singkat. Hal ini bagus untuk proses pengeringan, tetapi juga memberikan beban berat pada sistem pendinginan. Jika lampu-lampu ini diletakkan terlalu dekat satu sama lain demi menghemat ruang, maka perangkat kontrol Anda akan rusak. Anda perlu memastikan bahwa kipas pengudaraan dan sistem pendinginan Anda cukup kuat untuk menangani peningkatan suhu tersebut.
Jika lampu-lampu ini dihubungkan ke sistem PID, semuanya akan berjalan lancar. Waktu siklus akan berkurang, pemborosan akan berkurang, dan seluruh proses akan berjalan lebih lancar.