Mengapa harus memanaskan udara, padahal kita bisa langsung memanaskan wafer saja?
Sebagian besar proses pembuatan semikonduktor masih menggunakan oven berbahan udara bertekanan. Prosesnya sangat lambat. Udara dipanaskan terlebih dahulu, lalu udara tersebut memanaskan ruangan di dalam oven. Baru setelah itu, wafer akan menjadi hangat—jika beruntung. Ini berarti kita harus menunggu cukup lama.
Kami lebih memilih penggunaan pemanas inframerah (IR), karena cara ini menghilangkan kebutuhan akan udara sebagai perantara. Waktu merupakan faktor penting. Udara bertekanan bekerja dengan lambat, sedangkan IR menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Dengan demikian, waktu yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangi dari jam-jam menjadi menit-menit saja. Dalam produksi massal, menghemat 20 menit dari waktu pemrosesan tentu merupakan keuntungan yang besar bagi kapasitas produksi harian.
Masalah di ruang bersih
Jika Anda pernah berada di ruang bersih, Anda pasti tahu bahwa aliran udara seringkali menjadi masalah. Kipas angin menciptakan debu dan turbulensi, sehingga situasinya menjadi kacau. Pemanas IR tidak memiliki kipas angin, sehingga tidak ada aliran udara yang menciptakan partikel-partikel yang bisa merusak wafer. Untuk menjaga kebersihan, kami menggunakan kemasan berbahan kuarsa. Dengan demikian, Anda tidak perlu khawatir tentang gas-gas berbahaya atau partikel-partikel yang bisa merusak proses pemrosesan pada suhu tinggi.
Kekurangan (karena selalu ada kekurangan)
IR bukanlah solusi ajaib. Cahaya IR hanya dapat memanaskan bagian-bagian tertentu saja. Jika komponen memiliki struktur yang rumit atau adanya alur-alur yang dalam, maka cahaya IR tidak akan dapat memanaskan bagian-bagian tersebut. Anda tidak bisa sekadar memasukkan lampu IR ke dalam oven konvensional dan menganggapnya sudah cukup. Anda perlu merancang zona pemanasan dengan baik agar hasilnya maksimal.
Selain itu, pemanas IR menghasilkan energi yang sangat besar. Jika sistem pendinginan tidak cukup baik, maka bingkai komponen bisa rusak atau sensor suhu bisa berfungsi secara tidak tepat. Karena IR mampu mencapai suhu target jauh lebih cepat daripada udara, kami menyarankan penggunaan kontroler PID dan termokopel yang responsif. Hal ini akan membantu mencegah suhu yang berlebihan yang bisa merusak komponen.