Pada tahap ini, profil lapisan fotoresist ditetapkan selama proses pemanasan pertama. Perubahan suhu sebesar 5°C pada permukaan wafer dapat menyebabkan ketidakseragaman ukuran cakram optik, merusak lapisan fotoresist yang telah diterapkan, dan membuang-buang biaya untuk proses perbaikan yang mahal. Kami menggunakan lampu pemanas khusus agar tercipta keseragaman suhu yang tinggi.
Hal-Hal yang Penting Secara Teknis
Kami menggunakan lampu halogen berfrekuensi rendah dalam rongga reflektor yang dirancang untuk mencapai keseragaman suhu hingga ±0,1°C pada permukaan wafer. Sistem pengukuran suhu yang canggih memungkinkan kontrol suhu yang akurat dalam waktu singkat. Bagian kepala lampu dirancang untuk digunakan di ruang bersih kelas 1–100, dengan bahan-bahan yang meminimalkan emisi gas dan tidak menghasilkan partikel sama sekali. Insulasi berbahan serat karbon membantu menjaga suhu tetap stabil, sementara lapisan kuarsa mampu bertahan dari siklus pemanasan yang berulang-ulang. Diharapkan lampu ini dapat beroperasi selama lebih dari 5.000 jam dengan penurunan kinerja kurang dari 5%.
Mengapa Ini Efektif
Alat ini dapat digunakan untuk proses pengeringan wafer, pemanasan lapisan fotoresist, pengeringan produk setelah proses produksi, serta pembersihan wafer, tanpa perlu mengganti alat-alat lainnya. Keseragaman suhu yang tinggi membantu mengurangi masalah pada tepi-tepi wafer dan meningkatkan tingkat kelulusan produk. Waktu pemanasan yang singkat membantu mengurangi konsumsi energi dan meningkatkan kecepatan produksi. Jendela operasional menjadi lebih luas karena suhu dapat dikontrol secara akurat, bukan hanya diperkirakan saja.
Hal-Hal yang Perlu Diketahui
Lampu ini kompatibel dengan antarmuka standar, tetapi geometri reflektor harus sesuai dengan ukuran wafer dan bentuk chuck yang digunakan. Diperlukan waktu singkat untuk menyetel nilai PID dan memastikan distribusi suhu yang tepat di berbagai titik proses. Mengoperasikan lampu pada suhu yang sangat tinggi akan memperpendek masa pakainya; kami merekomendasikan agar suhu tidak melebihi 650°C agar kinerja lampu tetap stabil.