CMP後ウェーハ乾燥ヒーター

製造ラインでは、CMP処理後にわずかな水分が残っているだけで、研磨を経ても正常に動作しないチップができてしまいます。CMP処理後のウェーハの乾燥は、単なるオプションではなく、不可欠な工程です。 ヒーターの温度が不安定になると、表面張力によってウェーハ表面に傷ができ、その欠陥がリソグラフィ工程に影響...