ウェーハ処理装置用温度センサー

ウェーハ洗浄用ツールが故障しないようにするために 正直に言って、IR加熱ランプを化学的な洗浄エリア内に置くのは、まるで火遊びのようなものです。可燃性の溶剤が周囲にある状態では、わずかな火花や部品の漏れでも、単なる「技術的なトラブル」どころではありません。それは大災害につながります。 私たちは、そう...