만약 클래스 100급 청정실을 운영하고 있다면, 공기 필터만으로는 충분하지 않다는 것을 이미 알고 있을 것입니다. 진짜 문제는 바로 열원입니다.
대부분의 일반적인 IR 램프들은 오염의 원인이 됩니다. 접착제나 금속으로 만들어진 램프의 끝부분들 때문에, 깨끗한 환경이 필요할 때 오히려 미세한 입자들이 발생하거나 가스가 배출됩니다. 우리는 더 나은 방법을 찾아냈습니다. 바로 고순도 석영관과 특수한 세라믹 끝부분을 사용하는 것입니다.
왜 이게 중요한가요?
대부분의 발광체는 필라멘트를 고정하기 위해 금속을 사용합니다. 하지만 열이 오르내릴 때 그 금속은 산화되거나 부서질 수 있습니다. 웨이퍼나 광학 부품을 다룰 때는 이런 상황이 매우 위험합니다.
우리는 금속 대신 고급 세라믹을 사용했습니다. 세라믹은 공기와 반응하지 않으며, 가스도 배출하지 않습니다. 그저 그 자리에서 제 역할을 하면서, 가열된 영역을 화학적으로 안정적으로 유지하여 미세한 이물질이 제품의 품질을 해치는 것을 막습니다.
조금 더 자세히 설명하자면…
외부 커버로는 융합된 석영을 사용합니다. 이는 균열이 생기지 않을 정도로 높은 내열성을 가진 고순도 석영입니다.
하지만 진짜 비결은 세라믹 끝부분과 석영의 열팽창 계수가 같다는 점입니다. 만약 두 재료의 팽창/수축 속도가 다르다면, 처음 몇 번의 가열 과정에서 밀봉이 풀릴 수 있습니다.
또한, 우리는 고강도 단파장 출력을 위한 제품을 사용합니다. 그래야 목표 온도에 더 빨리 도달할 수 있고, 기판이 공기 중의 불순물에 노출되는 시간도 줄어듭니다.
주의해야 할 사항들
이것이 마법의 해결책은 아닙니다. 몇 가지 단점도 있습니다.
첫째, 세라믹 끝부분을 사용하면 발광체의 길이가 금속 끝부분보다 조금 더 길어집니다. 교체하기 전에 장비의 크기를 꼭 확인해야 합니다. 그렇지 않으면 제대로 들어가지 않을 수 있습니다.
둘째, 고순도 석영은 매우 단단합니다. 하지만 너무 세게 누르면 균열이 생길 수 있습니다. 설치할 때는 조심해야 합니다.
마지막으로, 냉각 시스템도 제대로 작동해야 합니다. 열이 집중되기 때문에, 세라믹과 석영이 만나는 부분이 과열되지 않도록 해야 합니다.