클린룸을 진정으로 깨끗하게 유지하기: 석영 난방기의 진실
반도체 클린룸에서는 “조금이라도” 먼지가 있다는 것은 있을 수 없습니다. 만약 난방기에서 1마이크론만큼의 먼지가 나와도, 그것만으로도 웨이퍼가 망가집니다. 그렇게 간단한 일입니다.
바로 이런 이유로 우리는 트롤리형 난방기에 일반적인 유리나 저품질 석영을 사용하지 않습니다. 그러한 재료들은 열 스트레스를 견딜 수 없어서 손상되거나 파괴되어 결국 생산 효율을 떨어뜨립니다. 우리는 고순도 합성 석영을 사용하는데, 이 재료는 열에도 변형되지 않습니다.
왜 이런 방식을 사용하는가?
대부분의 난방기는 접착제나 유기 코팅을 사용하는데, 이러한 물질들은 처음 몇 번 사용할 때만 사용되고 그 후에는 사라집니다. 우리는 그러한 물질들을 전혀 사용하지 않습니다.
우리가 사용하는 램프는 고순도 석영으로 만들어져 있어서 극심한 온도 변화에도 깨지지 않습니다. 직접적인 적외선 방사를 사용하기 때문에 에너지가 바로 목표물에 도달합니다. 중간 단계나 이상한 매개체가 필요하지 않으며, 공기 중에 먼지가 들어갈 여지도 없습니다. 이것이야말로 Class 100 기준을 충족시키는 유일한 방법입니다.
세부 사항
이러한 난방기들은 빠르게 열을 발생시킬 수 있도록 설계되었습니다. 텅스텐 필라멘트는 진공 상태나 불활성 가스 속에 있어서 산화되거나 고장나지 않습니다. 가열하려는 물질에 따라 단파나 중파 출력을 선택할 수 있습니다.
하지만 문제는, 너무 많은 와트수를 작은 공간에 집중시키면 상황이 위험해진다는 것입니다. 트롤리의 환기 시스템이 제대로 작동하지 않거나 반사판이 약간만 잘못되어도, 기기가 손상될 수 있습니다. 반드시 충분한 냉각 성능을 갖춘 팬을 사용해야 합니다. 그렇지 않으면 기기가 고장날 수 있습니다.
설치 방법
우리는 표준화된 커넥터를 사용하여 이러한 난방기들을 쉽게 교체할 수 있도록 설계했습니다. 작업장에서 납땜이나 전선 처리를 할 필요가 없으므로, 클린 구역에 이물질이 들어갈 가능성도 없습니다.
이러한 램프들은 24시간 내내 작동할 수 있습니다. 단 한 가지 주의사항이 있습니다: 절대로 석영 부분을 맨손으로 만지지 마세요. 피부에서 나오는 오일 때문에 과열되어 램프가 손상될 수 있습니다.