CMP 후 웨이퍼 건조 히터

팹 플로어에서는 CMP 처리 후에 발생하는 단 한 개의 물 자국만으로도 연마 과정을 거친 칩이 망가질 수 있습니다. CMP 처리 후 웨이퍼를 건조시키는 것은 단순히 좋은 선택이 아니라 필수적인 공정입니다. 히터의 성능이 불안정해지면 온도의 균일성도 해치게 됩니다. 표...