MEMS 센서 웨이퍼 건조 히터

화학적 세척을 마친 후 MEMS 센서 웨이퍼를 건조할 때는 열이 필요합니다. 그리고 그 열은 빠르게 공급되어야 합니다. 하지만 문제는, 가연성 용매가 있는 환경에서 이런 작업을 하는 것은 마치 불을 다루는 것과 같다는 점입니다. 비유적인 표현이 아니라, 실제로 폭발할...