Mengapa perlu berhenti memanaskan udara, sedangkan kita boleh terus memanaskan wafer tersebut?
Kebanyakan kilang pengeluaran semikonduktor masih menggunakan kaedah pemanasan udara secara paksa. Proses ini sangat lambat. Udara dipanaskan terlebih dahulu, kemudian udara tersebut memanaskan ruangan di mana wafer berada. Akhirnya, jika nasib baik, wafer akan menjadi panas. Ini bermakna kita perlu menunggu untuk waktu yang lama.
Kami lebih suka menggunakan pemanas inframerah (IR), kerana ia tidak memerlukan proses perantaraan seperti udara. Semuanya bergantung pada masa.
Pemanasan udara secara paksa sangat lambat. Sebaliknya, pemanas IR menggunakan radiasi elektromagnetik untuk memanaskan permukaan wafer secara langsung. Dengan cara ini, masa yang diperlukan untuk memanaskan wafer dapat dikurangkan dari jam-jam menjadi minit-minit sahaja. Bagi kilang yang menghasilkan produk dalam kuantiti yang besar, pengurangan masa pemprosesan sebanyak 20 minit merupakan keuntungan yang besar bagi kapasiti pengeluaran harian mereka.
Masalah di bilik bersih
Jika anda pernah berada di bilik bersih, anda pasti tahu bahawa aliran udara merupakan masalah utama. Kipas akan menimbulkan debu dan gangguan aliran udara. Ini akan menyebabkan kekacauan. Pemanas IR pula tidak menghasilkan aliran udara, jadi tidak akan ada debu atau zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer. Untuk memastikan kebersihan, kami menggunakan sarung kuarsa. Dengan cara ini, anda tidak perlu risau tentang gas atau zarah-zarah yang boleh merosakkan wafer semasa proses pemanasan.
Kelemahan IR
Namun, IR bukanlah penyelesaian yang sempurna. Ia hanya efektif untuk permukaan yang rata. Jika komponen tersebut memiliki bentuk yang rumit, maka pemanasan tidak akan berkesan. Anda tidak boleh sekadar meletakkan lampu IR di dalam ketuhar konvensional dan mengharapkan hasil yang baik. Anda perlu merancang zon pemanasan dengan teliti agar proses pemanasan berjalan dengan lancar.
Selain itu, pemanas IR menghasilkan banyak tenaga panas. Jika sistem penyejukan tidak mencukupi, bingkai komponen boleh rosak atau sensor suhu boleh rosak. Oleh kerana IR mampu mencapai suhu yang diinginkan dengan lebih cepat daripada udara, kami menyarankan penggunaan pengawal PID dan termokopel yang responsif. Ini akan membantu mengelakkan suhu yang berlebihan dan merosakkan komponen tersebut.