Zorgen dat je wafers schoon blijven tijdens het verhitten
Als je een cleanroom van klasse 100 hebt, weet je vast al wat voor nachtmerrie dit kan zijn: één klein stofdeeltje of een beetje uitgasing en al is je hele partij verpest.
Het probleem is dat standaard IR-lampen vaak worden samengehouden met lijmstoffen of coatings die gewoon loskomen. Zodra ze worden onderworpen aan thermische cycli, komen er deeltjes vrij. Dat is niet erg. Daarom gebruiken we voor onze lampen hoogzuiver synthetisch kwarts. Dit materiaal blijft immers op zijn plek.
Het geheim zit in het kwarts
We gebruiken een omhulsel van gefuseerd silica met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat kwarts van lagere kwaliteit vaak ‘troebel’ wordt wanneer het heet wordt. Door de metalen onzuiverheden te verwijderen, voorkomen we dat de lamp microdeeltjes op de wafer afgeeft terwijl deze wordt verhit. Je krijgt de benodigde warmte, en je substraat blijft schoon. Simpel gezegd.
Vinden van de juiste afstand
Het vinden van de juiste afstand tussen de lamp en de wafer vereist wat balansvinding.
Te dichtbij? Dan ontstaan er hete plekken die een dunne wafer kunnen vervormen. Te ver weg? Dan duurt het langer voordat de lamp op temperatuur is, waardoor de productie vertraagt. Dat is frustrerend. Om dit op te lossen, gebruiken we lampen met een precieze kortegolflengte-emissie. Hierdoor blijft de energiedichtheid hoog, zelfs op een veilige afstand van de wafer.
Een paar dingen om rekening mee te houden
Hogezuiver kwarts is chemisch inert, maar het is wel broos. Raak deze buizen alsjeblieft niet aan met blote handen. De oliën op je huid kunnen kleine spanningpunten veroorzaken. Wanneer de lamp te maken krijgt met snelle temperaturen, kunnen deze punten barsten, waardoor de lamp veel eerder kapotgaat.
Hetzelfde geldt voor de bevestigingsbeugels. Deze moeten geen spanning hebben. Als je het kwarts vasthoudt in een strakke bevestiging, zal de buis al snel barsten wanneer deze probeert te expanderen. Geef het materiaal ruimte om te ademen.
Deze lampen zijn bedoeld als eenvoudige vervangingen voor de bestaande apparaten. Zorg er alleen voor dat de vermogensbron over voldoende vermogen beschikt, zodat de gloeidraad niet overbelast wordt.