Vervanging van de heater bij Lam Research: behoud van spectraire zuiverheid met infraroodverwarming
We hebben deze infraroodverwarmingslamp ontworpen als een directe, even effectieve alternatief voor de oorspronkelijke heater van Lam Research. Het idee is eenvoudig: dezelfde spectraire eigenschappen en thermische prestaties, maar zonder de hoge prijs die de originele lamp heeft. Als u veel geld betaalt voor een bepaald warmtestrip, dan voldoet deze lamp aan dezelfde standaarden.
Stroom, spanning en afmetingen – ontworpen voor precisie
Het gaat om een verhittingselement met hoge dichtheid, ontworpen om maximale precisie te boeken. De lamp werkt op 400V, waardoor het filament intensieve hitte kan genereren in een compact formaat. De lengte van de buis is 300 mm en de vermogenswaarde is 2500 W. Dit past perfect bij de geometrie van de kamers waarin de lamp wordt gebruikt. Hierdoor wordt de wafer of het substraat gelijkmatig verwarmd – geen hete of koude plekken.
Deze hoge vermogensdichtheid maakt het mogelijk om snel temperaturen te bereiken. Echter, dit zorgt er ook voor dat de koelsystemen van de machine zwaarder worden belast. Uw koelsysteem moet dus in staat zijn om de hitte die wordt geproduceerd door de 2500 W sterke lamp te verwerken.
Materialen en ontwerp: halogeen, kwarts en een perfecte pasvorm
In het midden van de lamp zit een kortgolfinfraroodhalogeen-element, dat zich bevindt binnen een kwartsbuis. De chemische samenstelling van het halogeen zorgt ervoor dat het filament stabiel blijft, waardoor de spectraire eigenschappen gedurende de levensduur van de lamp constant blijven.
De kwartsbuis is geselecteerd vanwege zijn uitstekende weerstand tegen thermische schokken. Hierdoor kan de lamp gemakkelijk worden ingeschakeld en uitgeschakeld, zonder dat er barsten in de buis ontstaan.
En de R7s-aansluiting? Dat is een perfect passende interface. Hij kan de stroomsterkte hanteren en zorgt er ook voor dat de lamp stevig vastzit. Dit maakt de lamp tot een echte vervanging zonder dat er nieuwe bedrading of aanpassingen nodig zijn.
Waarom dit belangrijk is: precisie, efficiëntie en eenvoudige installatie
Bij halfgeleiderproductie moet de heater een constante spectraire zuiverheid bieden. Onze lamp heeft dezelfde spectraire eigenschappen als de originele lamp, zodat uw procesparameters precies blijven zoals u ze nodig hebt.
Bovendien is de lamp ontworpen om 24/7 te kunnen werken. De installatie is eenvoudig: haal de oude lamp eraf, stop de nieuwe lamp erin en sluit deze aan. De stilstandstijd neemt af tot minuten in plaats van uren. U krijgt dus thermische prestaties van OEM-kwaliteit, tegen een prijs die perfect past in uw onderhoudsbudget.