Na linii produkcyjnej proces suszenia fotopolimeru nie stanowi „rozgrzewki”. To właśnie ten krok termiczny decyduje o precyzji kontrolowania grubości ścieżek na płytkach krzemowych. Nawet niewielka różnica temperatury w wysokości 0,5°C może wpłynąć na jakość wydruku – powstają wtedy nierówne krawędzie, co może mieć negatywny wpływ na dalsze etapy obróbki. Nasz system taśm termicznych pracujących przy wysokich temperaturach został zaprojektowany właśnie z myślą o takim scenariuszu: utrzymuje temperaturę płytki na pożądanym poziomie na całej jej powierzchni, co umożliwia realizację tego celu godzinę po godzinie, bez dodawania żadnych cząsteczek czy wprowadzania zmienności.
Co jest istotne z technicznego punktu widzenia? Wykorzystujemy ciepło fal krótkich w zakresie podczerwieni (NIR) w połączeniu z taśmami o małej masie cieplnej. Dzięki temu temperatura płytki pozostaje stała w przedziale ±0,1°C. Możemy kontrolować szybkość wzrostu temperatury do 3°C/s, co chroni cienkie warstwy i pozwala utrzymać kontrolę nad energią używaną w procesie. Taśma jest opracowana tak, aby zachować stabilność przy wysokich temperaturach oraz umożliwić łatwe usunięcie płytki z taśmy. Potwierdzono również, że w środowiskach klasy 1–100 taśma nie wytwarza żadnych cząsteczek. Powtarzalność wynosi ±0,2°C, więc parametry procesu nie zmieniają się podczas przenoszenia płytek między maszynami.
W liniach litograficznych konieczne są profile suszenia, które są identyczne za każdym razem – zarówno między poszczególnymi seriami produkcji, jak i między różnymi maszynami. System taśm stabilizuje kontakt pomiędzy płytką a gorącą płytą, co pomaga zmniejszyć efekty odbicia światła i nierówności na krawędziach płytki. Rezultatem jest lepsza jakość wydruku – mniejsza liczba błędów podczas inspekcji, mniej odpadów spowodowanych pozostałościami materiału na krawędziach płytki.
Kolejną zaletą jest redukcja czasu pracy maszyny oraz zużycia energii. Ciepło fal krótkich w zakresie podczerwieni ogrzewa tylko wymaganą strefę, więc zużycie energii jest mniejsze. Ponadto, gdy przychodzi czas na wymianę materiałów eksploatacyjnych, proces jest prosty i przewidywalny – mniej niespodzianek, mniej przerw w pracy.
Trzeba pamiętać o kilku rzeczach. Chemia taśmy dobrze współpracuje ze standardowymi fotopolimerami i rozpuszczalnikami, ale może być wrażliwa na długotrwałe działanie silnych zasad w niektórych środkach służących do usuwania fotopolimeru. Przed zwiększeniem ilości używanego materiału należy sprawdzić efektywność taśmy.
Instalacja polega na dostosowaniu geometrii uchwytu do emisji ciepła od tyłu płytki. Udostępniamy procedury kalibracji dla poszczególnych platform, aby przyspieszyć integrację i zapewnić stałą wartość temperatury na poziomie ±0,1°C już od pierwszego dnia używania maszyny.