На производственной линии процесс высушивания фотополимера не является просто этапом разогрева. Это ключевой термический процесс, который определяет точность контроля толщины линий на пластине. Изменение температуры на 0,5°C может привести к смещению диапазона значений, необходимых для правильного формирования структуры. Неравномерное нагревание приводит к образованию наклонных стенок, что в свою очередь влияет на качество последующих операций по обработке пластины. Мы разработали специальную систему термического нагрева, позволяющую поддерживать температуру пластины на нужном уровне на всей её поверхности, час за часом, без появления частиц или других отклонений.
Что имеет значение с технической точки зрения
Мы используем нагрев с использованием коротковолнового инфракрасного излучения в сочетании с креплениями с низкой теплоемкостью. Это позволяет достичь однородности нагрева поверхности пластины в пределах ±0,1°C. Можно контролировать скорость нагрева до 3°C/с, что помогает сохранять тонкие слои и контролировать температурный режим. Крепления разработаны так, чтобы обеспечивать стабильность при высоких температурах и легкое снятие пластины с поверхности. Подтверждено, что в условиях класса 1–100 эти крепления не создают никаких частиц. Повторяемость результатов составляет ±0,2°C при передаче пластины от одного устройства к другому, что гарантирует стабильность процесса при масштабировании производства.
На производственных линиях необходимо, чтобы профили нагрева оставались стабильными при каждой серии производства, на разных машинах. Система креплений стабилизирует контакт между пластиной и нагревательной платой, что помогает снизить проявление отражений и других негативных эффектов. Это приводит к более точному распределению параметров пластины, сокращению количества переработок после проверки и уменьшению количества отходов из-за остатков пленки по краям пластины.
Кроме того, это способствует повышению эффективности работы оборудования и снижению энергопотребления. Инфракрасное излучение нагревает только нужную зону, поэтому потребление энергии снижается. Кроме того, замена расходных материалов происходит легко и предсказуемо, что снижает вероятность неплановых простоев.
Существует несколько моментов, которые следует учитывать. Химический состав креплений хорошо совместим с стандартными фотополимерами и растворителями, но он может быть чувствителен к длительному воздействию сильных оснований в некоторых химикалиях. Перед началом массового производства необходимо проверить работу системы креплений.
Установка креплений заключается в соответствии их геометрии с геометрией крепления пластины. Мы предоставляем таблицы калибровки для различных платформ, что помогает ускорить процесс интеграции и обеспечить однородность нагрева уже с первого дня.