Почему для процесса отверждения пластин необходим более эффективный рефлектор
Если вы по-прежнему используете циркуляцию горячего воздуха для обработки полупроводников, вы, вероятно, сталкиваетесь с значительными проблемами в процессе работы. Речь идет о времени ожидания – о том времени, когда приходится просто стоять и смотреть на печь, пока она наконец не достигнет нужной температуры. Это пустая трата времени. А в этой отрасли время – это все.
Использование инфракрасного обогрева полностью меняет ситуацию. Вместо нагрева всего объема воздуха, инфракрасные лучи направляются прямо на поверхность пластины. Никаких посредников, никакого ожидания.
Но здесь есть один недостаток: инфракрасный обогрев будет эффективен только если у вас есть качественный рефлектор. Без высококачественного золотистого или алюминиевого покрытия половина энергии просто отражается обратно в корпус устройства. Это не только неэффективно, но и представляет собой потерю денег. Качественно спроектированный рефлектор перехватывает эту энергию и направляет ее именно на поверхность пластины.
Разница в скорости процесса просто поразительная. Речь идет о секундах вместо минут. При использовании инфракрасного обогрева можно сократить время обработки на 40–70%. Кроме того, уменьшается количество необходимых компонентов: можно избавиться от огромных вентиляторов и всей этой изоляционной трубопроводной архитектуры, которая только мешает работе.
Конечно, все не так просто, как просто заменить вентилятор на лампу. Инфракрасное излучение имеет определенное направление. Если рефлектор смещен хотя бы на несколько градусов, возникают «горячие точки», что приводит к деформации пластины или неравномерному отверждению. Это катастрофично для контроля качества.
Также необходимо учитывать нагрузку на систему охлаждения. Высокомощные инфракрасные устройства очень быстро нагреваются. Если система охлаждения не сможет справиться с этим теплом, контроллеры могут быть повреждены.
Поэтому мы тратим столько времени на оптимизацию геометрии поверхности рефлектора. Это сложная задача –找到 правильный баланс между мощностью излучения и равномерным распределением тепла по поверхности пластины. Нужно выполнить работу быстро, но при этом качественно.