บนชั้นลิโธ การคลาดเคลื่อนทางความร้อนแทบจะไม่ให้พื้นที่สำหรับการปรับตัว FOUP ที่เก็บความชื้นหรือเกิดความร้อนสูงในมุมหนึ่งและเย็นในอีกมุมหนึ่ง จะทำให้โฟโตเรซิสต์เกินงบประมาณความร้อนที่กำหนด คุณจะไม่เห็นผลกระทบนี้ที่เครื่องเคลือบ แต่จะเห็นเป็นความคลาดเคลื่อนของความกว้างเส้นและการเกิดสกัมในภายหลัง เราจึงพัฒนาเครื่องเป่า FOUP เพื่อกำจัดความไม่แน่นอนนี้ เพื่อให้ช่วงกระบวนการอยู่ในพื้นที่ที่ต้องการ คือบนเวเฟอร์
สิ่งที่สำคัญภายใต้ระบบ
เครื่องนี้ควบคุมความสม่ำเสมอของอุณหภูมิระดับเวเฟอร์ให้อยู่ในช่วง ±0.1°C ทั่วทั้ง FOUP โดยใช้โปรไฟล์ความร้อนที่เหมาะสมกับคลีนรูม ซึ่งทำให้งานอบแห้งโดยไม่ผลักดันสารละลายเข้าสู่เรซิสต์หรือปล่อยสารปนเปื้อนระเหยออกมา การเกิดอนุภาคเป็นศูนย์โดยมีการจัดวางวัสดุและการไหลของอากาศให้เหมาะสมกับคลีนรูมระดับ Class 1–100 ความสามารถในการทำซ้ำถูกออกแบบไว้ในวงจรควบคุมและอินเทอร์เฟซทางกล ดังนั้นทุกรอบอบจะมีผลเหมือนกันทุกครั้งในแต่ละชุด ความน่าเชื่อถือขึ้นอยู่กับการทำงานต่อเนื่องโดยไม่มีเวลาหยุดทำงานโดยไม่คาดคิดที่ทำให้สมดุลสายการผลิตเสียหาย
เหตุผลที่ใช้งานในโรงงาน 24/7
ประสิทธิภาพของเครื่องเป่า FOUP มีผลโดยตรงกับเวลารอบการผลิต, อัตราของเสีย และการใช้พลังงาน ความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่เข้มงวดช่วยรักษากระบวนการอบนุ่มและอบแข็งให้ครบถ้วน ซึ่งหมายถึงการลดงานแก้ไขและการควบคุมขนาดวิกฤตที่เข้มงวดขึ้น โครงสร้างที่เหมาะสมกับคลีนรูมช่วยลดจำนวนอนุภาค ซึ่งเป็นข้อกำหนดของน็อดขั้นสูง ผลลัพธ์คือความคลาดเคลื่อนน้อยลง ความสามารถในการดำเนินกระบวนการที่มั่นคง และต้นทุนต่อเวเฟอร์ที่ต่ำลงโดยไม่ลดความเร็วการผลิตเพื่อตามหาช่องว่างทางความร้อน
รายละเอียดเชิงปฏิบัติ
การติดตั้งขึ้นอยู่กับการจับคู่ของอินเทอร์เฟซเชื่อมต่อและทิศทางท่อระบายกับแทร็กและรอยเท้าของตัวพา FOUP โดยควรประสานงานกับทีมผสานเครื่องมือในระยะแรก เครื่องเป่ายังต้องการสาธารณูปโภคที่เสถียร ได้แก่ อากาศแห้งสะอาดและแหล่งจ่ายไฟที่มั่นคง เพื่อรักษาค่าความสม่ำเสมอของสเปค แนะนำให้ทำการทดลองคอมมิชชันสั้น ๆ เพื่อกำหนดโปรไฟล์การอบที่เหมาะสมกับชั้นเรซิสต์ของคุณ