บนพื้นลิทографี การเบี่ยงเบนครึ่งองศาในการอบฟิล์มโฟโตเรซิสก็เพียงพอที่จะทำให้การควบคุมขนาดเชิงวิกฤต (CD) ออกนอกสเปค เวเฟอร์สะสม ขยะเพิ่มขึ้น และสายการผลิตต้องจ่ายค่าความไม่สอดคล้องทางอุณหภูมิ เราออกแบบโมดูลอบแห้งฟิล์มโฟโตเรซิสด้วยอินฟราเรดเพื่อกำจัดความไม่แน่นอนในการอบแห้งเวเฟอร์ การอบฟิล์มอ่อน และการอบฟิล์มแข็ง
สิ่งที่สำคัญภายในโมดูล เราใช้คลื่นสั้นอินฟราเรดร่วมกับอีมิตเตอร์ควอตซ์-ฮาโลเจน ปล่อยพลังงานเข้าสู่ชั้นฟิล์มโฟโตเรซิสโดยตรง โมดูลนี้รักษาความสม่ำเสมอของอุณหภูมิที่ระดับเวเฟอร์ที่ ±0.1°C ทั่วทั้งหน้าอบ ทำให้ทุกจุดได้รับงบประมาณความร้อนเท่ากัน ความเข้ากันได้กับ Cleanroom Class 1–100 มาจากห้องที่ควบคุมอนุภาคและวัสดุที่ปล่อยก๊าซต่ำ การสร้างอนุภาคเป็นศูนย์ไม่ใช่สโลแกน—มันถูกบังคับโดยการออกแบบการไหลของอากาศและพื้นผิวที่ตรงตามมาตรฐานการปนเปื้อนในเซมิคอนดักเตอร์ ความสามารถในการทำซ้ำถูกล็อคด้วยการวัดอุณหภูมิแบบปิดวงจรและการควบคุมที่ขับเคลื่อนด้วยสูตรซึ่งรักษาการปรับอุณหภูมิ การแช่ และการเย็นด้วยความเสถียรที่ต่ำกว่า 1 วินาที
นี่คือสิ่งที่: ในการทำความสะอาดและอบแห้งเวเฟอร์ อินฟราเรดให้ความร้อนอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ลดรอบความร้อนโดยไม่มีการหน่วงเวลาและจุดร้อน สำหรับการอบฟิล์มอ่อน หมายความว่าสารตัวทำละลายจะออกจากเรซินอย่างรวดเร็วและสม่ำเสมอ ทำให้การยึดเกาะดีขึ้นและความแปรผันของขอบลดลง ในระหว่างการอบฟิล์มแข็ง มันทำให้ภาพแข็งตัวโดยไม่ทำให้ชั้นด้านล่างร้อนเกินไป ทำให้การซ้อนทับยังคงแน่น
ผลตอบแทนคือการทำงานซ้ำที่น้อยลง การกระจาย CD ที่แน่นขึ้น และผลผลิตที่คุณสามารถนับได้ การใช้พลังงานลดลงเพราะอินฟราเรดให้ความร้อนกับเป้าหมาย ไม่ใช่กับอุปกรณ์รอบข้าง ความน่าเชื่อถือวัดได้จากการทำงานตลอด 24 ชั่วโมง 7 วันโดยมีหน้าต่างการบำรุงรักษาที่วางแผนไว้ ไม่ใช่การหยุดทำงานที่ไม่คาดคิด โมดูลสามารถติดตั้งในสายการเคลือบ/อบที่มีอยู่ แต่ความแม่นยำในการจัดตำแหน่งต้องสูง—การจัดตำแหน่งที่ต่ำกว่าหนึ่งมิลลิเมตรจำเป็นต้องรักษาความสม่ำเสมอ แผนสำหรับพลังงานและการระบายความร้อนที่ได้รับการจัดอันดับ Cleanroom; อีมิตเตอร์ทำงานที่อุณหภูมิสูง และการจัดการความร้อนมีผลโดยตรงต่อความเสถียรของจุดตั้งค่า
การถ่ายโอนสูตรทำได้ง่าย แต่ทุกสแต็กเรซินมีพฤติกรรมแตกต่างกัน ตรวจสอบโปรไฟล์การอบบนเวเฟอร์ผลิตภัณฑ์ก่อน จากนั้นล็อคพารามิเตอร์เข้าสู่ระบบควบคุมเพื่อให้การดำเนินการยังคงสม่ำเสมอ