
วิธีรักษาความสะอาดในห้องปลอดฝุ่นให้ดีอยู่เสมอ: ความจริงเกี่ยวกับการใช้ควอตซ์เป็นวัสดุสำหรับการให้ความร้อน
ในห้องปลอดฝุ่นสำหรับการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์นั้น ไม่มีทางที่จะมีฝุ่นแม้แต่เล็กน้อยได้เลย หากเครื่องให้ความร้อนปล่อยฝุ่นออกมาเพียงหนึ่งไมครอนก็ถือว่าเป็นการทำลายชิปไปแล้ว มันง่ายขนาดนั้นเลย
นั่นคือเหตุผลที่เราไม่ใช้แก้วธรรมดาหรือควอตซ์ราคาถูกมาเป็นวัสดุสำหรับเครื่องให้ความร้อน เพราะวัสดุเหล่านั้นไม่สามารถทนต่อความร้อนสูงได้ มันจะเสื่อมสภาพ และทำให้ประสิทธิภาพในการผลิตลดลง เราจึงใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง เพราะมันจะยังคงอยู่ในสภาพเดิมตลอดเวลา
เหตุผลที่เราเลือกใช้วิธีนี้
เครื่องให้ความร้อนส่วนใหญ่ใช้กาวหรือสารเคลือบที่จะสลายตัวไปหลังจากการใช้งานเพียงไม่กี่ครั้ง เราจึงกำจัดสิ่งเหล่านั้นออกไปหมด
หลอดไฟของเราใช้ควอตซ์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงของอุณหภูมิสูงได้โดยไม่แตก เนื่องจากเราใช้รังสีอินฟราเรดโดยตรง พลังงานจะถูกส่งไปยังจุดที่ต้องการโดยตรง ไม่มีสิ่งกั้นขวาง และไม่มีฝุ่นหรือสิ่งสกปรกในอากาศเลย นี่คือวิธีเดียวที่จะทำให้ห้องปลอดฝุ่นมีมาตรฐานระดับ Class 100 ได้จริงๆ
รายละเอียดเพิ่มเติม
อุปกรณ์เหล่านี้ถูกออกแบบมาให้สามารถให้ความร้อนได้อย่างรวดเร็ว เราใช้ไส้หลอดที่ทำจากทังสเตน ซึ่งอยู่ในสภาพสุญญากาศหรือก๊าซที่ไม่มีปฏิกิริยากับออกซิเจน เพื่อไม่ให้มันเสื่อมสภาพ ขึ้นอยู่กับสิ่งที่คุณต้องการให้ความร้อน คุณสามารถเลือกระหว่างการใช้คลื่นความยาวสั้นหรือคลื่นความยาวกลางได้
แต่มีข้อจำกัดอยู่อย่างหนึ่ง นั่นคือ เมื่อคุณใช้พลังงานสูงในพื้นที่ขนาดเล็ก อุณหภูมิก็จะสูงมาก หากตัวเครื่องไม่มีระบบระบายอากาศที่ดี หรือกระจกสะท้อนแสงไม่ถูกต้อง ก็จะทำให้เครื่องเสียหายได้ คุณต้องมั่นใจว่าพัดลมระบายความร้อนมีประสิทธิภาพพอที่จะระบายความร้อนได้ มิฉะนั้นเครื่องก็จะเสียหายได้
วิธีนำอุปกรณ์เหล่านี้มาใช้ในกระบวนการผลิต
เราออกแบบอุปกรณ์เหล่านี้ให้สามารถใช้แทนอุปกรณ์เดิมได้ทันที โดยมีขั้วต่อมาตรฐาน คุณไม่จำเป็นต้องวางสายไฟหรือทำอะไรเพิ่มเติม ซึ่งก็หมายความว่าจะไม่มีสิ่งสกปรกเข้ามาในห้องปลอดฝุ่นได้เลย
หลอดไฟเหล่านี้สามารถทำงานได้ตลอด 24 ชั่วโมงโดยไม่มีปัญหา มีเพียงกฎเดียวเท่านั้น นั่นก็คือ อย่าสัมผัสควอตซ์ด้วยมือเปล่า เพราะน้ำมันจากผิวหนังจะทำให้เกิดจุดร้อน ซึ่งเป็นสาเหตุให้หลอดไฟเสียหายได้อย่างรวดเร็ว