Temiz oda koşullarını gerçekten korumak: Kuvars ısıtıcılar hakkındaki gerçekler
Yarı iletken üretiminde bulunan temiz odalarda “az miktarda” toz diye bir şey yoktur. Eğer ısıtıcınızdan tek bir mikronluk parça bile dökülürse, bu durumda waferiniz bozulmuş demektir. İşte bu kadar basit.
İşte bu yüzden ısıtıcılarımız için standart cam veya ucuz kuvars malzemelerini kullanmıyoruz. Bu tür malzemeler ısı baskısına dayanamaz; bozulurlar, parçalanırlar ve üretim verimliliğinizi düşürürler. Biz ise yüksek saflıkta sentetik kuvars kullanıyoruz; çünkü bu malzeme sabit kalır.
Neden böyle yapıyoruz?
Çoğu ısıtıcı, ilk kullanımlarda yanarak yok olan yapıştırıcılar veya organik kaplamalar kullanır. Biz bunların hepsini ortadan kaldırdık.
Lambalarımız, aşırı sıcaklık değişimlerine dayanabilen yüksek saflıkta kuvars malzemelerden oluşur. Doğrudan kızılötesi ışınlar kullanıldığı için enerji doğrudan hedefe ulaşır. Araya hiçbir aracı girmez ve havadaki yabancı maddeler de yoktur. Bu, Class 100 standartlarına ulaşmanın tek yoludur.
Detaylar
Bu cihazlar hızla ısınacak şekilde tasarlanmıştır. Tungsten filamanlar vakum veya inert gaz içinde bulundurularak oksitlenmesi ve arızalanması engellenir. Isıtılmak istenen malzemeye bağlı olarak kısa dalga veya orta dalga gücü seçilebilir.
Ancak burada bir sorun var: Eğer bu kadar yüksek gücü küçük bir alana sıkıştırırsanız, durum kontrolsüz hale gelir. Eğer ısıtıcının havalandırması düzgün değilse veya yansıtıcılar hafifçe bozuksa, cihazınız zarar görebilir. Soğutma fanlarının yeterince güçlü olduğundan emin olun; aksi takdirde cihazınız hasar görecektir.
Üretim hattına entegrasyon
Bunları standart konektörlerle birlikte kullanılabilir şekilde tasarladık. Atölyede lehimleme işlemleri yapmanıza gerek yok; böylece temiz alanınıza yabancı maddelerin girmesi engellenmiş olur.
Bu lambalar 24/7 çalışabilir ve herhangi bir sorun yaşamaz. Tek kural: Kuvarsa dokunmayın. Cildinizdeki yağlar ısınmaya neden olur ve bu da lambanın hızla bozulmasına yol açar.