Чому зупиняти нагрівання повітря, якщо можна просто нагріти саму пластину?
Більшість заводів з виробництва напівпровідників все ще використовують для нагріву приміщень примусові конвекційні печі. Це повільний процес: спочатку нагрівається повітря, потім воно нагріває приміщення, і лише тоді, якщо пощастить, пластина нагрівається. Це означає багато часу очікування.
Ми воліємо використовувати інфрачервоні обігрівачі – вони усувають необхідність використання проміжного елемента для передачі тепла.
Усе залежить від швидкості нагрівання.
Примусова конвекція є повільною. Інфрачервоне випромінювання діє інакше – воно безпосередньо нагріває поверхню пластини. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату, достатньо нагріти лише потрібну ділянку. Це дозволяє скоротити час нагрівання з годин до хвилин. Коли мова йде про великомасштабне виробництво, скорочення часу нагрівання на 20 хвилин – це справжній прихід.
Проблеми у чистих приміщеннях
Якщо ви коли-небудь були у чистому приміщенні, ви знаєте, що рух повітря є серйозною проблемою. Вентилятори піднімають пил, створюють турбулентність. Це призводить до безладу.
Інфрачервоні обігрівачі не мають вентиляторів, тож не створюють турбулентності та не піднімають частинки пилу. Щоб забезпечити ще більшу чистоту, ми використовуємо кварцові корпуси. Це дозволяє уникнути проблем, пов’язаних із дією дивних газів чи частинок пилу під час нагрівання.
Але є і недоліки…
Інфрачервоне випромінювання – це не чарівна паличка. Воно діє лише у певному напрямку. Якщо на поверхні деталей є глибокі жолоби чи складні форми, може виникнути проблема з нагріванням цих ділянок. Ви не можете просто покласти інфрачервону лампу в стару конвекційну піч та сподіватися на успіх. Потрібно правильно розташувати джерела тепла.
Крім того, високоякісні інфрачервоні обігрівачі виділяють велику кількість енергії. Якщо не задбати про системи охолодження, може виникнути проблема з деформацією конструкції чи несправністю термодатчиків.
Оскільки інфрачервоне випромінювання досягає потрібної температури значно швидше, ніж повітря, ми завжди рекомендуємо використовувати контролери типу PID та термопари з швидкою реакцією. Це допомагає уникнути перегріву та пошкодження деталей під час нагрівання.