Під час першої процедури випалювання фотолаку на поверхні пластини формується певний профіль його розподілу. Зміна температури на 5°C може призвести до зміщення параметрів CD, порушення правильності нанесення фотолаку та марнування дорогих ресурсів на корекцію помилок. Ми створили спеціальну лампу для випалювання фотолаку, яка забезпечує точність контролю температури.
Що є важливим з технічної точки зору
Ми використовуємо галогенні лампи короткої довжини хвилі, розташовані у відбивачі, який забезпечує точність контролю температури на рівні ±0,1°C. Інтегрована система вимірювання температури дозволяє швидко підтримувати необхідну температуру під час випалювання фотолаку. Головка лампи підходить для використання у чистих приміщеннях класу 1–100; матеріали, з яких вона виготовлена, мають низький рівень викидів газів та не створюють частинок під час роботи. Ізоляція з вуглецевих волокон допомагає зменшити теплову масу та швидко стабілізувати температуру. Кварцовий корпус витримує багаторазові цикли нагрівання/охолодження. Очікується термін служби понад 5 000 годин при повній продуктивності, зі зниженням ефективності менше ніж на 5%.
Чому це ефективно
Цей пристрій дозволяє проводити сушіння пластини, випалювання фотолаку, висихання компонентів під час упаковування та очищення без необхідності зміни обладнання. Висока точність контролю температури допомагає усунути проблеми з розподілом фотолаку по поверхні пластини та підвищує загальну продуктивність процесу. Швидке досягнення необхідної температури скорочує час випалювання, що зменшує споживання енергії та підвищує продуктивність. Також збільшується діапазон можливих параметрів процесу, оскільки температура контролюється точно, а не приблизно.
Що потрібно знати
Лампа сумісна зі стандартними інтерфейсами, але геометрія відбивача має відповідати розміру пластини та її профілю. Потрібен короткий час на налаштування параметрів PID та перевірку правильності розподілу температури на різних ділянках поверхні пластини. Робота при температурі, близькій до верхньої межі для кварцу, скорочує термін служби пристрою; рекомендується тримати температуру нижче 650°C для забезпечення стабільної роботи.