فیبریکیشن لائنز میں، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے کا عمل صرف “ورم اپ” کا مرحلہ نہیں ہے؛ بلکہ یہ وہ حرارتی عمل ہے جس کے ذریعہ لائنوں کی چوڑائی کو کنٹرول کیا جاتا ہے۔ 0.5°C کی تبدیلی سے ڈوز ونڈو میں تبدیلی آ جاتی ہے، اور اگر حرارتی ماحول یکساں نہ ہو تو دیواروں پر ناہمواریاں پیدا ہو جاتی ہیں، جو بعد میں ریزسٹ اسٹرِپنگ اور ایچنگ کے عمل میں مشکلات پیدا کرتی ہیں۔ ہم نے اسی حقیقت کو مدِ نظر رکھتے ہوئے اعلی درجہ حرارت والا تھرمل ٹیپ سسٹم تیار کیا ہے؛ تاکہ ویفر کو مطلوبہ درجہ حرارت پر رکھا جا سکے، اور یہ کام گھنٹوں تک بغیر کسی تبدیلی کے جاری رہ سکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (NIR) حرارت کا استعمال کرتے ہیں، اور کم حرارتی ماس والے ٹیپوں کا استعمال کرکے ویفر کی سطح پر یکسانیت کو ±0.1°C کے اندر رکھا جاتا ہے۔ آپ ریمپ ریٹ کو 3°C/سیکنڈ تک کنٹرول کر سکتے ہیں، جس سے پتلی فلموں کو تحفظ ملتا ہے، اور حرارتی بجٹ بھی کنٹرول میں رہتا ہے۔ یہ ٹیپ اعلی درجہ حرارت پر بھی استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ مختلف مشینوں میں بھی یہ ٹیپ استعمال کیا جا سکتا ہے، اور اس سے پروسیس ونڈو میں کوئی تبدیلی نہیں آتی۔
لیتھوگرافی لائنز میں، ہر شفٹ، ہر بیچ، ہر مشین میں یکساں پروفائلز ضروری ہیں۔ یہ ٹیپ سسٹم ویفر اور ہاٹ پلیٹ کے درمیان رابطے کو مستحکم کرتا ہے، جس سے عکسی اثرات اور کناروں پر ناہمواریاں کم ہو جاتی ہیں۔ اس کے نتیجے میں CD کی تقسیم بہتر ہوتی ہے، ڈیولپمنٹ کے بعد دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہوتی ہے، اور کناروں پر باقی رہنے والی فلم کی وجہ سے نقصان بھی کم ہوتا ہے۔
اس کے علاوہ، یہ ٹیپ استعمال کرنے سے آپ کو توانائی کی بچت بھی ہوتی ہے؛ کیوں کہ NIR صرف مطلوبہ علاقے کو ہی گرم کرتا ہے۔ جب کنسیومیبلز کو تبدیل کرنے کی بات آتی ہے، تو یہ عمل آسان اور قابل پیشن گوئی ہوتا ہے؛ جس سے غیر متوقع وقفے کم ہو جاتے ہیں۔
کچھ باتیں جن پر غور کرنا ضروری ہے: یہ ٹیپ معیاری فوٹوریزسٹس اور سولوینٹس کے ساتھ اچھی طرح کام کرتا ہے، لیکن کچھ خاص کیمیکلز کے ساتھ طویل عرصے تک استعمال کرنے سے یہ حساس ہو سکتا ہے۔ وولیوم بڑھانے سے پہلے اس ٹیپ کی جانچ ضرور کریں۔
انسٹالیشن کے لئے چک کی جیومیٹری اور ویفر کی پچھلی سطح کی ایمیسیویٹی کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے۔ ہم مختلف پلیٹ فارموں کے لئے کیلیبریشن ریسیپیز فراہم کرتے ہیں، تاکہ انٹیگریشن تیز ہو سکے، اور پہلے ہی دن سے ±0.1°C کی یکسانیت حاصل کی جا سکے۔