پہلے مرحلے میں، فوٹوریزسٹ کی ساخت کو مقرر کیا جاتا ہے۔ ویفر کے درجہ حرارت میں 5 ڈگری سیلسیس کا فرق، CD کی قیمتوں کو متاثر کرتا ہے، اور قیمتی وقت اور وسائل کا ضیاع ہوتا ہے۔ ہم نے اس عدم استحکام کو دور کرنے کے لئے خصوصی لیمپ تیار کئے ہیں۔
تکنیکی پہلوؤں کی اہمیت
ہم ریفلیکٹر کیوبٹ میں شارٹ-ویو ہیلوجن لیمپ استعمال کرتے ہیں، تاکہ ویفر کے درجہ حرارت میں ±0.1 ڈگری سیلسیس کی درستگی حاصل ہو سکے۔ انٹیگریٹڈ پیرامیٹرز کی مدد سے درجہ حرارت کو مسلسل کنٹرول کیا جاتا ہے، جس سے پروسیس کی درستگی برقرار رہتی ہے۔ لیمپ کلاس 1–100 کے کلین روم معیارات کے مطابق ہے، اور اس میں کم گیس خارج ہوتی ہے، نیز اس کی سطح سے کوئی ذرات پیدا نہیں ہوتے۔ کاربن-فائبر سے بنے انسولیشن کی وجہ سے حرارت کی مقدار کم رہتی ہے، اور درجہ حرارت جلد ہی مستحکم ہو جاتا ہے۔ کوارٹز سے بنے کیس کی وجہ سے لیمپ بار بار ہونے والے حرارتی تغیرات کو برداشت کر سکتا ہے۔ متوقع طور پر، لیمپ 5,000 گھنٹوں تک پوری کارکردگی کے ساتھ کام کر سکتا ہے، اور اس کی کارکردگی میں 5% سے کم کمی ہوگی۔
اس کے کام کرنے کے طریقے
یہ یونٹ ویفر کو خشک کرنے، فوٹوریزسٹ کو گرم کرنے، پیکیجنگ کے عمل کو مکمل کرنے، اور صفائی کے عمل کو بغیر کسی تبدیلی کے انجام دے سکتا ہے۔ درجہ حرارت کی درستگی کی وجہ سے ویفر کی سطح پر بہتر نتائج حاصل ہوتے ہیں۔ تیزی سے درجہ حرارت کا کنٹرول، پروسیس کے وقت کو کم کرتا ہے، جس سے توانائی کی کھپت کم ہوتی ہے اور پروسیس کی رفتار بڑھ جاتی ہے۔ چونکہ حرارتی درجہ حرارت کو کنٹرول کیا جاتا ہے، اس لئے پروسیس کے دورانیے میں اضافہ ہوتا ہے۔
جاننے کے لئے اہم باتیں
یہ لیمپ معیاری ٹریک انٹرفیسز کے ساتھ کام کر سکتا ہے، لیکن ریفلیکٹر کی ساخت ویفر کے سائز اور چک کی ساخت کے مطابق ہونی چاہیے۔ PID کو ایڈجسٹ کرنے اور پروسیس کے مختلف مراحل میں درجہ حرارت کی پیمائش کرنے کے لئے تھوڑا وقت درکار ہے۔ کوارٹز کی اوپری حرارتی حد کے قریب کام کرنے سے لیمپ کی عمر کم ہو جاتی ہے؛ ہم تجویز کرتے ہیں کہ مستقل کارکردگی کے لئے درجہ حرارت کو 650 ڈگری سیلسیس سے کم رکھا جائے۔