لیتھوگرافی کے عمل میں، ویفر کے درجہ حرارت میں 1 ڈگری سیلسیس کا فرق بھی لائن ویڈتھ کو نینومیٹر کی سطح پر تبدیل کر سکتا ہے؛ اور کسی ذرے کی وجہ سے پوری پروڈکشن تباہ ہو سکتی ہے۔ اسی لیے زونڈ انفراریڈ ہیٹنگ ماڈیول تیار کیا گیا ہے، تاکہ عمل کے دوران درجہ حرارت کو مناسب سطح پر رکھا جا سکے۔
تکنیکی اعتبار سے اہم باتیں
شارٹ-ویو انفراریڈ ایمیٹرز، الگ الگ کنٹرول شدہ زونوں میں نصب کیے گئے ہیں؛ اس طرح درجہ حرارت کو ویفر کی خصوصیات کے مطابق ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے۔ پوری سطح پر ویفر کا درجہ حرارت ±0.1 ڈگری سیلسیس کے اندر رہتا ہے۔ فوٹوریزسٹ کو بیک کرنے کا عمل بھی مستقل طور پر دہرایا جا سکتا ہے؛ نرم اور سخت بیکنگ کے دوران درجہ حرارت کو بہتر طریقے سے کنٹرول کیا جا سکتا ہے، اور درجہ حرارت کی وجہ سے ہونے والے نقصانات کم ہو جاتے ہیں۔ یہ ہارڈویئر کلاس 1-100 کے کلین روموں کے لیے موزوں ہے، اور اسے ایسے ہی ڈیزائن کیا گیا ہے کہ ذرات کی تعداد صفر رہے۔ قابل اعتمادی کی پیمائش کی جاتی ہے، نہ کہ وعدہ کیا جاتا ہے؛ یہ 24/7 کام کر سکتا ہے، بغیر کسی غیرمتوقع تعطل کے، اور ایمیٹر کی زندگی کو بھی ٹریک کیا جاتا ہے، تاکہ پرفارمنس کو مستقل رکھا جا سکے۔
یہ کیوں کام کرتا ہے؟
پہلے فوٹوریزسٹ لگایا جاتا ہے، پھر اسے بیک کیا جاتا ہے۔ اگر بیکنگ مناسب طریقے سے نہ ہو، تو کناروں پر مسائل پیدا ہوتے ہیں، چپکنے کی صلاحیت کم ہو جاتی ہے، اور پیٹرن منتقل کرنے کے بعد مسائل پیدا ہوتے ہیں۔ زونڈ کنٹرول کی بدولت، کناروں کی انرجی کو مرکزی حصے کی انرجی کے مطابق ایڈجسٹ کیا جا سکتا ہے؛ اس طرح ویفر کے پورے حصے میں درجہ حرارت کو مستقل رکھا جا سکتا ہے، دوبارہ کام کرنے کی ضرورت کم ہو جاتی ہے، اور پروڈکشن کی کوالٹی برقرار رہتی ہے۔
یہ ماڈیول، توانائی کی بچت بھی کرتا ہے، کیوں کہ یہ صرف اسی جگہ حرارت فراہم کرتا ہے جہاں اس کی ضرورت ہے۔ اور چونکہ یہ ہر بار تیزی سے دوبارہ تیار ہو جاتا ہے، اس لیے سائیکل ٹائم کم ہو جاتا ہے، بغیر بیکنگ کے معیار کو متاثر کیے۔
آپ کو پہلے ہی جاننے کی ضرورت ہے…
انسٹالیشن کے لیے، ہوسٹ پلیٹ فارم کی میکانی اور الیکٹریکل خصوصیات کو مدِ نظر رکھنا ضروری ہے – کنکٹر کی قسم، ایگزاسٹ روٹنگ، پورا لے آؤٹ وغیرہ۔ زونوں کو آپ کے خاص ویفر اور فوٹوریزسٹ کی خصوصیات کے مطابق ایڈجسٹ کرنے کے لیے ایک کمیشننگ عمل کی ضرورت ہے۔
یہ ماڈیول کلین روم کے لیے موزوں ہے، لیکن پھر بھی اسے کلین روم کے معیار کی سہولیات اور منظم پریوینٹیو مینٹیننس پلان کی ضرورت ہے، تاکہ ذرات کی تعداد کم رہے اور کارکردگی مستقل رہے۔