Trên sàn sản xuất, cắt laser là vấn đề về kiểm soát nhiệt độ. Nếu không kiểm soát được, các vết nứt nhỏ sẽ lan ra, độ phóng kerf bị lệch và các khuyết tật sau cắt làm hỏng wafer đã đạt yêu cầu qua quá trình in mạch và ăn mòn. Giải pháp không đơn giản chỉ là khắc phục tạm thời mà là sử dụng bộ gia nhiệt hỗ trợ được thiết kế riêng cho bước dicing, ngay tại vị trí cần thiết.
Điều quan trọng thực sự bên trong
Chúng tôi thiết kế bộ phận này dựa trên các bóng phát hồng ngoại sóng ngắn (NIR) và cấu trúc nhiệt gia cường bằng thạch anh, đảm bảo độ đồng nhất ±0.1°C trên toàn bộ wafer. Độ ổn định đó trực tiếp kiểm soát ngân sách nhiệt của lớp photoresist trong quá trình soft bake và hard bake, giữ cho kích thước chi tiết quan trọng và độ nhám mép đường luôn trong giới hạn cho phép. Thiết bị tương thích với phòng sạch Class 1–100, và chúng tôi đã xác nhận không phát sinh các hạt bụi có kích thước nhỏ hơn 0.1 μm. Công suất được hiệu chuẩn cho hoạt động liên tục 24/7, và khả năng tái lập nằm trong ngưỡng ±0.2°C trên các lô hàng, ca làm việc, và khi thay đổi thiết bị.
Tại sao nó phù hợp với cắt laser
Dicing tạo ra sốc nhiệt. Bộ gia nhiệt hỗ trợ tiến hành điều kiện trước cho wafer, giảm các grad nhiệt gây ra hiện tượng vỡ vụn và tách lớp dọc theo đường cắt. Kết quả là tỷ lệ die đạt cao hơn, giảm số lần gia công lại, và năng suất không bị biến động mạnh. Công suất được điều chỉnh phù hợp với khối nhiệt của giá đỡ và lớp film, tránh lãng phí điện năng trong khi nhiệt độ đặt vẫn ổn định.
Lợi ích thu được là hình dạng kerf dự đoán được, chất lượng mép đều, và cửa sổ quy trình duy trì ổn định suốt từ in mạch đến đóng gói.
Dưới đây là các ghi chú hiện trường
Việc lắp đặt yêu cầu khớp với giao diện chuck và xác nhận tương thích NIR với hệ thống quang học laser và các bảo vệ an toàn hiện có. Sau khi bảo trì phòng ngừa, thực hiện hiệu chuẩn ngâm nhiệt ngắn để khôi phục độ đồng nhất. Bộ gia nhiệt hoạt động trong phạm vi thông số kỹ thuật cả khi ở trạng thái chân không hoặc điều kiện khí quyển, tuy nhiên đáp ứng nhiệt thay đổi theo loại giá đỡ — khi thay đổi film hoặc khung giá, cần lên kế hoạch hiệu chỉnh công thức một lần duy nhất.