Giữ cho phòng sạch luôn sạch sẽ: Sự thật về vật liệu dùng để làm bộ phận gia nhiệt từ thạch anh
Trong phòng sạch dành cho ngành bán dẫn, không thể chấp nhận việc có “chỉ một ít bụi” thôi. Nếu bộ phận gia nhiệt tỏa ra một hạt bụi kích thước 1 micromet, thì chiếc wafer đó sẽ bị hỏng ngay lập tức. Đơn giản vậy thôi.
Đó chính là lý do tại sao chúng tôi không sử dụng các loại thủy tinh thông thường hay thạch anh giá rẻ để làm bộ phận gia nhiệt. Những vật liệu này không thể chịu được áp lực nhiệt cao; chúng sẽ bị hư hỏng, trở nên vụn nát, và khiến sản phẩm bị hỏng. Chúng tôi sử dụng thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao, vì loại này có khả năng chịu được nhiệt độ cao mà không bị hư hỏng.
Tại sao chúng tôi làm như vậy?
Hầu hết các bộ phận gia nhiệt hiện nay sử dụng chất kết dính hoặc lớp phủ hữu cơ, những thứ này sẽ bị phân hủy sau vài lần sử dụng. Chúng tôi đã loại bỏ hoàn toàn những yếu tố này. Các bộ phận gia nhiệt của chúng tôi được làm từ thạch anh có độ tinh khiết cao, có khả năng chịu được sự thay đổi nhiệt độ cực đoan mà không bị nứt vỡ. Vì chúng tôi sử dụng tia hồng ngoại trực tiếp, nên năng lượng được truyền trực tiếp đến vật cần được gia nhiệt. Không cần bất kỳ trung gian nào, và cũng không có bụi bẩn nào trong không khí. Đây mới là cách duy nhất để đạt được tiêu chuẩn Class 100 một cách chắc chắn.
Những chi tiết quan trọng
Những bộ phận gia nhiệt này được thiết kế để hoạt động ở nhiệt độ cao, và chúng hoạt động rất nhanh. Chúng tôi đặt sợi wolfram vào môi trường chân không hoặc khí trơ, để tránh tình trạng oxi hóa và hư hỏng. Tùy vào loại vật liệu cần được gia nhiệt, bạn có thể chọn loại bộ phận gia nhiệt phát ra sóng ngắn hoặc sóng trung bình.
Nhưng có một điểm cần lưu ý: khi tích hợp quá nhiều công suất vào một không gian nhỏ, nhiệt độ sẽ tăng lên rất cao. Nếu vỏ bọc của bộ phận gia nhiệt không được thiết kế tốt, hoặc các bộ phận phản xạ ánh sáng không được điều chỉnh đúng cách, thì bộ phận gia nhiệt sẽ bị hư hỏng. Hãy chắc chắn rằng quạt làm mát của bạn đủ mạnh để xử lý lượng nhiệt đó; nếu không, bộ phận gia nhiệt sẽ bị hư hỏng ngay lập tức.
Lắp đặt chúng vào hệ thống của bạn
Chúng tôi thiết kế những bộ phận gia nhiệt này sao cho có thể thay thế dễ dàng, với các kết nối tiêu chuẩn. Bạn không cần phải hàn dây hay sửa chữa gì cả, nhờ đó không có bụi bẩn nào có thể xâm nhập vào khu vực sạch. Những bộ phận gia nhiệt này có thể hoạt động liên tục 24/7 mà không bị hư hỏng. Chỉ cần một quy tắc duy nhất: đừng chạm vào thạch anh bằng tay trần. Dầu từ da tay sẽ tạo ra những điểm nóng, và đó chính là nguyên nhân khiến bộ phận gia nhiệt bị hư hỏng nhanh chóng.