在用化学试剂清洗MEMS传感器晶圆之后，需要对其进行干燥处理，而这一过程离不开热量——而且需要尽快完成。但问题在于：在充满易燃溶剂的环境中进行加热处理，就如同在玩火一般危险。这并非比喻，而是真的有可能引发爆炸。
因此，我们使用专门的红外灯来完成任务。这类灯不会让工作环境变成危险地带。
保持密封性 普通的红外灯是开放式的结构。在充满易挥发化学气体的环境中，这种设计极不安全。一旦出现火花或元件过热的情况，就可能会引发灾难。
为避免这种情况发生，我们将红外灯置于坚固的石英或不锈钢外壳中。这相当于一种物理屏障。我们还使用高温密封件来确保气体无法进入电子设备内部，同时防止热量泄漏，从而避免在设备上形成危险的高温点。这样就能确保操作的安全性。
控制好温度 不能简单地将热量直接施加在晶圆上，否则晶圆会变形。我们需要精确控制功率与长度的比例，以保持稳定状态。通过使用短波红外光，热量可以迅速穿透晶圆表面的液体层。这样一来，晶圆在危险环境中的停留时间就会大大缩短。
不过，也不能只是简单地设置好参数后就不管了。还需要有快速反应的PID控制器。如果气流减弱或传送带停止运转，这些灯就必须立即停止工作。否则，晶圆就会被烤坏，甚至导致整个设备损坏。
设计的现实限制 当然，没有什么是完美的。虽然那种密封式设计能提高安全性，但它也会增加设备的热质量。
这对您来说意味着什么？相比开放式灯，它的升温速度会稍慢一些。您需要在工艺流程中考虑到这一点。
最后一点建议：注意电缆的屏蔽效果。有些红外电源采用高频切换技术，可能会产生噪声，影响MEMS传感设备的正常运行。做好适当的接地处理非常重要。