如何让洁净室保持清洁：关于石英加热器的真相
在半导体洁净室里，根本不存在“一点点灰尘”这种概念。如果加热器释放出哪怕一微米的杂质，那么晶圆就报废了。就是这么简单。
正因为如此，我们才不会使用普通的玻璃或廉价的石英材料来制造加热器。因为这些材料无法承受高温带来的压力，它们会老化、开裂，进而影响产品的质量。我们选择的是高纯度的合成石英，因为它能够稳定地承受高温。
我们为何这样设计
大多数加热器都使用粘合剂或有机涂层，而这些物质在最初的几次使用中就会烧毁。我们则摒弃了这些成分。我们的加热器采用高纯度石英作为外壳，因此能够承受极端的温度变化而不会破裂。由于我们使用的是直接辐射式的红外线加热方式，能量可以直接作用于目标物体，没有中间介质，也不会产生任何空气中的杂质。这是唯一能确保达到100级洁净标准的方法。
详细说明
这些加热器能够快速升温。我们将钨丝置于真空或惰性气体环境中，以避免其氧化失效。根据需要加热的物品，可以选择短波或中波输出。不过，问题在于：当如此高的功率被集中在一个小空间内时，情况就会变得非常危险。如果加热器的散热系统不完善，或者反射镜有偏差，那么加热器本身就会损坏。因此，必须确保冷却风扇足够强大，才能应对高温环境。
如何将它们安装到生产线上
我们设计的加热器带有标准化的连接器，因此可以直接替换现有的加热器。无需在车间里进行焊接或处理电线，这样就可以避免有外来杂质进入洁净区域。这些加热器可以持续24小时工作而不会出现问题。ただし，有一点很重要：绝对不要用裸手触摸石英部件。因为皮肤上的油脂会形成热点，从而加速加热器的损坏。