在第一步烘烤过程中，光阻的厚度会被设定下来。如果晶圆表面的温度波动达到5°C，那么就会导致CD值出现偏差，进而影响后续的工艺流程，同时还会造成昂贵的返工成本。我们设计的这种光阻烘烤装置，就是为了消除这种不确定性。
技术上的关键点 我们使用短波卤素灯，这些灯光被置于设计有±0.1°C精度控制的反射腔中。内置的温度传感器能够以毫秒级速度检测温度，从而确保软烘烤和硬烘烤过程中的温度稳定性。该灯具适合在1-100级洁净室环境中使用，其材质不会释放有害气体，且表面不会产生任何颗粒物。碳纤维绝缘材料有助于降低热惯性，从而更快地稳定温度，而石英外壳则能承受反复的温度变化。该灯具的持续工作时间可超过5,000小时，其性能下降幅度低于5%。
为什么它有效 该装置可以同时完成晶圆干燥、光阻烘烤、封装固化以及清洁处理等工序，而无需更换任何工具。出色的温度均匀性有助于减少边缘缺陷，提升整批产品的良率。快速的温度稳定化意味着烘烤时间缩短，从而减少能源消耗并提高生产效率。由于温度得到了精确控制，因此工艺窗口也更加宽泛。
需要了解的事项 该灯具可以与标准的轨道接口相兼容，但反射器的几何结构必须与您的晶圆尺寸及夹具形状相匹配。在调试阶段，需要通过调整PID参数来确保各工艺点的温度准确无误。如果将温度维持在石英材料的耐受上限以上，会缩短灯具的使用寿命；因此，建议将温度控制在650°C以下，以保持设备的长期稳定性。