http://ir-heat-zone.com/ar/tags/%D8%A3%D9%85%D8%A7%D9%85%D9%8A/ Recent content in (أمامي on Infrared Heating Zone Solutions Hugo ar Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/ar/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ Tue, 02 Jun 2026 06:06:33 +0800 http://ir-heat-zone.com/ar/posts/foup-front-opening-unified-pod-dryer/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/594cd14ba0fdce93f512a6ddf4ebf45d.png" alt="مجفف وحدة موحدة ذات فتحة أمامية (FOUP)"></p> <p>على طابق الليثوغرافي، الخطأ الحراري لا يترك مجالاً كبيراً للتسامح. وحدة FOUP التي تحتفظ بالرطوبة أو ترتفع حرارتها في زاوية وتنخفض في أخرى تدفع الفوتوريسست لتجاوز الحدود الحرارية المسموح بها. لا تلاحظ ذلك عند جهاز الطلاء – بل يظهر لاحقاً في تغييرات عرض الخطوط وحدوث scumming. قمنا بتصميم مجفف FOUP لإزالة هذه التغيرات، بحيث تبقى نافذة العملية ضمن الحدود المطلوبة: على الرقاقة.</p> <p><strong>ما يهم تحت الغطاء</strong><br> تحافظ الوحدة على توحيد حراري بمستوى الرقاقة ضمن ±0.1°C عبر وحدة FOUP، باستخدام ملف حراري متوافق مع غرف النظافة يجفف دون دفع المذيبات إلى داخل الراتنج أو السماح بانبعاث الملوثات. توليد الجسيمات يُعتبر صفراً عملياً – حيث تم توزيع المواد وتدفق الهواء بما يتوافق مع غرف النظافة من الفئة Class 1–100. التكرارية مضمونة داخل حلقة التحكم والواجهة الميكانيكية، بحيث تكون كل دورة خبز متطابقة، دفعة بعد أخرى. أما الموثوقية فتتعلق بالتشغيل بدون توقفات غير مخطط لها تؤثر على توازن الخط.</p>