ইউনিফর্মিটি ফটোরেজিস্ট বেক ল্যাম্প
প্রথম বেকিং-এর সময়ই ফটোরেজিস্টের প্রোফাইল নির্ধারণ করা হয়। ওয়েফারের তাপমাত্রায় ৫°C এর পার্থক্য থাকলে CD-এ ব্যতিচার ঘটে, ওভারলে প্রক্রিয়া নষ্ট...
প্রিসিশন টেম্পারেচার ফটোরেসিস্ট হিটার
লিথোগ্রাফি প্রক্রিয়ায়, বেকিং তাপমাত্রায় ০.৫°C এর পরিবর্তনই যথেষ্ট হয়ে যায় পুরো উৎপাদন প্রক্রিয়াকে নষ্ট করার জন্য। ওয়েফারগুলোতে ব্যবহৃত...