যখন কেমিক্যাল পদ্ধতিতে স্যানিটাইজ করার পর MEMS সেন্সর ওয়েফারগুলোকে শুকানো হয়, তখন তাপের প্রয়োজন হয়—আর সেটাও দ্রুত। কিন্তু সমস্যা হলো: জ্বলনশীল...

ওয়েফার শুকানোর প্রক্রিয়ায় ল্যাম্প নষ্ট হওয়ার সমস্যা মোকাবিলা করা সত্যি বলতে, যখন সেমিকন্ডাক্টর ফ্যাব্রিকেশন প্ল্যান্টে ইনফ্রারেড ল্যাম্পটি নষ্ট...

ফ্যাব ফ্লোরে, CMP-এর পর যে ওয়াটার মার্কগুলো থাকে, সেগুলো পলিশিং প্রক্রিয়া অতিক্রম করে আসা ডাইগুলোকে নষ্ট করে দিতে পারে। CMP-এর পর ওয়েফারকে শুকানো...

ওয়েফার চূড়ান্ত রিন্স থেকে বেরিয়ে আসে, এবং ঘড়ির কাঁটা চলতে শুরু করে। যদি ওয়েফার বেশি সময় বসে থাকে, বা শুকানোর সময় অসম তাপীয় প্রোফাইল দেয়া...