http://ir-heat-zone.com/cs/tags/laser/ Recent content in Laser on Infrared Heating Zone Solutions Hugo cs Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/cs/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ Sat, 06 Jun 2026 03:58:25 +0800 http://ir-heat-zone.com/cs/posts/laser-wafer-dicing-support-heater/ <p><img src="http://ir-heat-zone.com/images/1764273a9805a56244015746cb190d47.png" alt="Topná deska pro podporu řezání waferů laserem"></p> <p>Na výrobní lince je laserové dělení otázkou tepelné disciplíny. Pokud jí není dosaženo, začnou se šířit mikrotrhliny, zkosení drážky se deformuje a defekty po dělení vedou k likvidaci waferů, které prošly bez problémů litografií a leptáním. Řešení není dočasné – je to podpůrný ohřívač navržený přímo pro krok dělení, přesně tam, kde je potřeba.</p> <p><strong>Co skutečně záleží pod <a href="https://goldisgood.com">povrchem</a></strong><br> Jednotku jsme postavili okolo emitentů v blízké infračervené oblasti (NIR) a tepelného kompozitu vylepšeného křemenem, což zajišťuje ±0,1°C rovnoměrnost teploty po celém waferu. Tato stabilita přímo reguluje tepelný rozpočet fotorezistu během měkkého a tvrdého vypalování, čímž udržuje kontrolu kritického rozměru a hrubost okraje na požadovaných parametrech. Zařízení je kompatibilní s čistými prostory třídy 1–100 a bylo ověřeno, že nevytváří žádné částice menší než 0,1 μm. Dodávka energie je kalibrována pro nepřetržitý provoz 24/7 a opakovatelnost drží v rozmezí 0,2°C napříč šaržemi, směnami a výměnami nástrojů.</p>