Auf der Fertigungsfläche kann bereits eine Abweichung von 0,2 °C im Temperaturbereich dazu führen, dass die Kontrolle über das Profil des Fotolacks gestört wird. Dadurch können auch die Ränder der Schichten beeinträchtigt werden. Wafer verzeihen keine thermischen Schwankungen. Deshalb haben wir Heizelemente im Infrarotbereich entwickelt, die genau auf diese Bedingungen abgestimmt sind: keine Temperaturabweichungen, wiederholbare Heizvorgänge sowie eine Konstruktion, die für Reinräume geeignet ist.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellen-Infrarot-Elemente, die die Wärme direkt in die Platte leiten. In der aktiven Zone liegt die Temperaturgleichmäßigkeit bei ±0,1 °C. Von einem Zyklus zum nächsten bleibt die Temperaturstabilität bei ±0,5 °C – dadurch bleiben die Parameter für den Heizvorgang konstant.
Der Heizerkörper besteht aus Quarz und hochwertiger Keramik – es gibt keine freiliegenden organischen Stoffe. Zudem wird durch die Konstruktion die Erzeugung von Partikeln auf ein Minimum reduziert, sodass der Heizer für Bereiche der Klasse 1–100 geeignet ist. Die Steuerung ist stabil und präzise – mit geringer thermischer Trägheit. Das bedeutet, dass sich die Temperatur schnell nach dem Einsetzen des Wafer stabilisiert, wodurch die Leerlaufzeit minimiert wird, ohne dass die Präzision leidet.
Warum das in der Lithografie funktioniert:
In der Lithografie ist die Empfindlichkeit des Fotolacks entscheidend für die Kontrolle der Temperatur. Eine stabile Heizplatte führt zu weniger Nacharbeiten, besserer Gleichmäßigkeit sowie vorhersehbaren Temperaturverläufen. Die schnelle Reaktionszeit reduziert die Zeit, die für das Aufheizen benötigt wird. Zudem spart die leichte Konstruktion Energie während des Betriebs und im Ruhezustand. Man behält dieselben Anschlüsse bei, erhält aber eine bessere Kontrolle – was wiederum zu weniger Ausschuss und weniger Abweichungen führt.
Was man wissen muss:
Die Nachrüstung ist auf standardmäßigen Heizplattformen einfach möglich. Allerdings muss man die Ausrichtung an der thermischen Schnittstelle sowie die Position der Sensoren überprüfen. Selbst eine kleine Verschiebung in Millimetern kann die Gleichmäßigkeit der Temperatur beeinflussen.
Vor dem Kauf sollten Sie Spannung, Stromstärke und Anschlussart überprüfen. Nach der Installation sollte man einen kurzen Probelauf durchführen, um die Abweichungen zwischen Platte und Wafer zu ermitteln und die Einstellungen auf den jeweiligen Prozess abzustimmen.