Hören Sie auf, gegen die Feuchtigkeit in Ihren Reinigungsanlagen zu kämpfen.
Seien wir ehrlich: In der Reinigungsphase versagt meist die Wärmekontrolle. Man versucht, die Feuchtigkeit schnell zu beseitigen – doch man darf nicht das Risiko eingehen, die Wafer zu beschädigen. Es handelt sich dabei um ein Gleichgewichtsproblem, das in den meisten Fällen zu Problemen führt.
Deshalb verwenden wir wasserdichte Infrarotlampen. Das sind keine gewöhnlichen Heizgeräte. Wir haben sie extra für diese feuchten Bereiche konstruiert – damit sie auch bei hoher Feuchtigkeit weiterhin funktionieren können, ohne auszufallen.
Richtige Daten erfassen
Wenn Sie ein „Smart Fab“-System anstreben, können Sie nicht weiterhin auf herkömmliche Thermostate vertrauen. Diese sind einfach zu ungenau.
Wir entwickeln solche IR-Systeme, die mit Ihrer digitalen Steuerung kommunizieren können. Durch Anpassung der Leistung und Spannung kann man genau erkennen, wie sich die Wärme im Reinigungsprozess verteilt. Dadurch erhalten Ihre Steuereinheiten Echtzeitdaten. Sie sehen genau, wo die Temperatur sinkt – und können die Leistung entsprechend anpassen, um alles in dem optimalen Bereich zu halten.
Für chaotische Bedingungen konzipiert
Wir wissen alle, dass Wasser und Hochspannung eine gefährliche Kombination sind. Um Sicherheit zu gewährleisten, verschließen wir alle Enden der Lampen sowie die Verbindungsstellen, damit keine Feuchtigkeit eindringen kann. Zudem behandeln wir die Quarzkörper so, dass sie nicht durch Mineralablagerungen aus dem Reinigungswasser beschädigt werden.
Und es gibt hier keine schwachen Verbindungen – nur robuste Verbindungen, die auch bei ständiger Exposition gegen Chemikalien nicht beschädigt werden.
Das Problem: Hitze versus Kühlung
Hochintensive Infrarotlampen bringen eine enorme Menge an Energie sehr schnell ins Spiel. Das ist zwar ideal zum Trocknen – doch dadurch entsteht eine große Belastung für die Kühlsysteme. Wenn man diese Lampen zu nah beieinander platziert, um etwas Platz zu sparen, werden die Steuerelektroniken überhitzt. Man muss sicherstellen, dass die Lüftungsanlagen und Kühlsysteme stark genug sind, um die erhöhte Temperatur zu bewältigen.
Wenn man diese Lampen in einen PID-Regelkreis integriert, funktioniert alles reibungslos. Die Prozesszeiten verkürzen sich, es wird weniger Material verschwendet – und die gesamte Anlage arbeitet effizienter.