Wie man seine Produktionsanlage sicher hält, wenn die Situation unübersichtlich wird
Wenn Sie eine Halbleiterfabrik betreiben, kennen Sie das Problem: Chemische Reinigungsprozesse sind notwendig – doch sie stellen ein großes Risiko dar, besonders wenn es um brennbare Lösungsmittel geht.
Das Problem ist folgendes: Standard-IR-Lampen stellen in diesen Bereichen eine Gefahr dar. Schon eine kleine Stichflamme oder eine winzige Riss im Quarztubus kann zu einer Explosion führen. Das ist ein Risiko, das die Betriebsleiter nachts wachhält.
Deshalb setzen wir nicht einfach nur eine Lampe ein und hoffen auf das Beste. Wir verwenden spezielle, dichte Abdichtungen, um alles sicher zu verschließen.
Wie die Abdichtung funktioniert
Wir umhüllen die Lampe nicht einfach nur mit Plastik. Es handelt sich dabei eher um eine Art „schützende Festung“. Zunächst befindet sich die Heizelemente in einer Hochreinquarzumhüllung. Anschließend wird diese Umhüllung in einen weiteren Schutzschlitz eingeführt – einen Schutzschlitz, der chemikalienresistent ist und gleichzeitig die Wärme durchlässt. Dadurch können die aggressiven Korrosionsstoffe die Abdichtung nicht durchdringen und somit keinen Schaden anrichten.
Außerdem verwenden wir robuste Dichtungen sowie explosionsgeschützte Steckverbindungen. Keine Gase können eindringen. Falls ein Tubus ausfällt, hält die Umhüllung das Halogengas sowie die Überreste des Filaments fest – somit reagieren diese nicht mit den Dämpfen in der Luft. Es handelt sich dabei um eine echte Sicherheitsmaßnahme.
Umgang mit der Hitze
Die Hinzufügung von Schutzschichten macht die Sache meist komplizierter. Wenn man eine Barriere um die Lampe legt, ändert sich die Art und Weise, wie die Wärme übertragen wird. Um das zu beheben, passen wir die Leistung und Spannung an. So stellt sich sicher, dass das Substrat trotz der zusätzlichen Schutzmaßnahmen die richtige Temperatur erreicht.
Aber man muss vorsichtig sein – schließlich sammelt sich bei der Abdichtung etwas Wärme an. Dadurch können die Kabel und Halterungen beschädigt werden. Um das zu verhindern, empfehlen wir die Verwendung von Kabeln mit PTFE-Beschichtung sowie verstärkten Aluminium-Kühlkörpern. Dadurch bleibt das gesamte System kühl und stabil.
Einsetzen in die Produktion
Das Beste daran: Diese Lösungen können einfach als Ersatz für die üblichen IR-Lampen verwendet werden. Solange die Stromversorgung eine etwas höhere Belastung bewältigen kann – was notwendig ist, um die Wärme durch die Schutzschicht zu leiten – ist alles in Ordnung.
So wird die Gefahr für die offenen Komponenten beseitigt. Man kann weiterhin Hochtemperatur-Reinigungsprozesse durchführen – ohne Sorgen um mögliche Explosionen.