Während des Trocknungsprozesses wird die Profilierung des Fotolacks bereits in der ersten Trockenungsphase festgelegt. Eine Temperaturabweichung von 5 °C auf der Waferoberfläche führt zu Unebenheiten im Profil des Fotolacks, beeinträchtigt die Qualität des Ergebnisses und verursacht kostspielige Nacharbeiten. Wir haben daher eine spezielle Lampe entwickelt, die für eine gleichmäßige Trocknung des Fotolacks sorgt und somit diese Unsicherheiten beseitigt.
Was technisch wichtig ist:
Wir verwenden Kurzwellenhalogenlampen in einer Reflektorstruktur, die eine Temperaturgeräuschheit von ±0,1 °C gewährleistet. Die integrierte Pyrometrie ermöglicht es, die Temperatur in Millisekunden genau zu steuern – dadurch bleiben die Temperaturen während des Trocknungsprozesses konstant. Der Lampenkopf ist für Reinräume der Klasse 1–100 geeignet; außerdem werden Materialien verwendet, die kaum Gase abgeben und keine Partikel erzeugen. Die Kohlenstofffaserverstärkung sorgt dafür, dass die Wärmeenergie gering bleibt und die Temperatur schnell stabilisiert wird. Die Quarzkapsel kann wiederholten thermischen Belastungen standhalten. Man kann mit mehr als 5.000 Betriebsstunden bei weniger als 5 % Leistungsabfall rechnen.
Warum das funktioniert:
Diese Anlage ermöglicht das Trocknen der Wafer, die Trocknung des Fotolacks sowie das Reinigen der Wafer – ohne dass dabei Werkzeuge ausgetauscht werden müssen. Die hohe Temperaturgeräuschheit reduziert Unregelmäßigkeiten am Rand der Wafer und verbessert somit die Gesamtqualität. Die schnelle Temperaturanpassung verkürzt die Trocknungszeit, was den Energieverbrauch verringert und die Produktivität erhöht. Zudem werden die Prozessfenster erweitert, da die Temperatur genau gesteuert werden kann, anstatt nur geschätzt.
Was man wissen sollte:
Die Lampe ist mit Standardanschlüssen kompatibel – doch die Geometrie des Reflektors muss zur Größe der Wafer und zum Profil des Aufnahmemechanismus passen. Es ist ein kurzer Einrichtungsprozess erforderlich, um die PID-Einstellungen anzupassen und die Temperaturverteilung an den jeweiligen Stellen zu überprüfen. Ein Betrieb nahe der oberen Temperatsgrenze des Quarzes verkürzt die Lebensdauer der Lampe; daher empfehlen wir, eine Temperatur von unter 650 °C beizubehalten, um eine zuverlässige Funktion der Lampe zu gewährleisten.